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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112757151A(43)申请公布日2021.05.07(21)申请号202011418572.3(22)申请日2020.12.07(71)申请人南京美津浓电子科技有限公司地址211300江苏省南京市高淳区经济开发区恒盛路5号2幢(72)发明人黄修海(51)Int.Cl.B24B37/10(2012.01)B24B37/30(2012.01)B24B37/34(2012.01)B24B41/00(2006.01)B24B55/06(2006.01)B24B55/12(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种具有清除碎屑功能的硅晶体研磨设备(57)摘要本发明涉及一种具有清除碎屑功能的硅晶体研磨设备,包括工作台、驱动箱、传动轴和研磨盘,所述驱动箱设置在工作台的上方且与工作台固定连接,所述传动轴竖向设置在驱动箱和工作台之间,所述研磨盘与传动轴同轴设置且位于工作台和传动轴之间,所述工作台和传动轴均与研磨盘之间设有间隙,所述驱动箱上设有驱动装置,所述驱动装置与传动轴的顶端连接,所述传动轴上设有连接机构,所述工作台上设有辅助机构,该具有清除碎屑功能的硅晶体研磨设备通过连接机构实现了清除硅晶体上残留碎屑的功能,不仅如此,还通过辅助机构实现了防止冷却水飞溅而导致研磨机电路受潮而发生短路。CN112757151ACN112757151A权利要求书1/2页1.一种具有清除碎屑功能的硅晶体研磨设备,包括工作台(1)、驱动箱(2)、传动轴(3)和研磨盘(4),所述驱动箱(2)设置在工作台(1)的上方且与工作台(1)固定连接,所述传动轴(3)竖向设置在驱动箱(2)和工作台(1)之间,所述研磨盘(4)与传动轴(3)同轴设置且位于工作台(1)和传动轴(3)之间,所述工作台(1)和传动轴(3)均与研磨盘(4)之间设有间隙,所述驱动箱(2)上设有驱动装置,所述驱动装置与传动轴(3)的顶端连接,其特征在于,所述传动轴(3)上设有连接机构,所述工作台(1)上设有辅助机构;所述连接机构包括固定管(5)、第一单向阀(6)、第二单向阀(7)、气管(8)、两个连接组件和两个传动组件,所述研磨盘(4)上设有气孔,所述气管(8)和气孔均与传动轴(3)同轴设置,所述固定管(5)的轴线与传动轴(3)的轴线垂直且相交,所述固定管(5)固定在研磨盘(4)的顶部且与传动轴(3)之间设有间隙,所述固定管(5)顶部的中端设有圆孔,所述第一单向阀(6)安装在圆孔内,所述气管(8)的底端插入气孔内,所述气管(8)与气孔的内壁密封且固定连接,所述固定管(5)通过气管(8)与气孔连通,所述第二单向阀(7)安装在气管(8)内,所述连接组件以传动轴(3)的轴线为中心周向均匀设置在传动轴(3)上,所述传动组件与连接组件一一对应,所述第一单向阀(6)和气管(8)均位于两个传动组件之间;所述连接组件包括滑块(9)、导杆(10)和第一弹簧(11),所述导杆(10)与传动轴(3)平行,所述导杆(10)的两端分别与传动轴(3)固定连接,所述滑块(9)套设在导杆(10)上,所述滑块(9)的顶部通过第一弹簧(11)与导杆(10)的顶端连接,所述滑块(9)与研磨盘(4)的顶部固定连接;所述传动组件包括连杆(12)和活塞(13),所述活塞(13)的一端插入固定管(5)内,所述活塞(13)与固定管(5)匹配,所述活塞(13)与固定管(5)的内壁滑动且密封连接,所述活塞(13)通过连杆(12)与传动轴(3)的底端铰接,所述连杆(12)倾斜设置,所述连杆(12)的靠近传动轴(3)的一端与传动轴(3)轴线之间的距离小于连杆(12)的另一端与传动轴(3)轴线之间的距离;所述辅助机构包括支撑盘(14)、移动杆(15)、辅助管(16)、移动管(17)、两个气缸(18)、两个升降组件和两个吸附组件,所述支撑盘(14)、移动盘、辅助管(16)和移动管(17)均与传动轴(3)同轴设置,所述工作台(1)上设有安装孔,所述传动轴(3)穿过安装孔,所述传动轴(3)与安装孔的内壁密封且固定连接,所述支撑盘(14)固定在传动轴(3)的顶端,所述工作台(1)和研磨盘(4)均与支撑盘(14)之间设有间隙,所述研磨盘(4)的直径大于支撑盘(14)的直径且小于辅助管(16)的内径,所述辅助管(16)的底端与工作台(1)的顶部密封且固定连接,所述辅助管(16)的长度和移动管(17)的长度相等且小于支撑盘(14)与工作台(1)之间的距离并大于支撑盘(14)的厚度,所述辅助管(16)位于移动管(17)内,所述移动管(17)与辅助管(16)滑动且密封连接,所述移动管(17)与工作台(1)的顶部抵靠,所述气缸(18)以移动杆(15)的轴线为中心周向均匀固定在工作