一种传输方法和装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113640364A(43)申请公布日2021.11.12(21)申请号202110826036.5(22)申请日2021.07.21(71)申请人长江存储科技有限责任公司地址430074湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号(72)发明人徐小明(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司11270代理人徐雯张颖玲(51)Int.Cl.G01N27/62(2021.01)权利要求书1页说明书8页附图3页(54)发明名称一种传输方法和装置(57)摘要本申请公开了一种传输方法和装置，所述方法包括：将待测样液、第一体积的洁净气体和第二体积的洁净液体依次输入传输管道；所述洁净气体用于在所述传输管道内分隔所述待测样液和所述洁净液体；在所述传输管道内产生驱动气流，通过所述传输管道内的驱动气流对所述待测样液进行传输。本申请提供的一种传输方法通过增设洁净气体和洁净液体以传输待测样液，增大了待测样液与气体的接触界面的稳定性，降低了待测样液断层和残留的效果，同时有效清洗了传输管道，提高了传输管道洁净度，减少传输污染。CN113640364ACN113640364A权利要求书1/1页1.一种传输方法，其特征在于，包括：将待测样液、第一体积的洁净气体和第二体积的洁净液体依次输入传输管道；所述洁净气体用于在所述传输管道内分隔所述待测样液和所述洁净液体；在所述传输管道内产生驱动气流，通过所述传输管道内的驱动气流对所述待测样液进行传输。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将待测样液、第一体积的洁净气体和第二体积的洁净液体依次通入传输管道，包括：通过位于所述传输管道输入端的第一输入装置向所述传输管道输入所述待测样液；通过位于所述传输管道输入端的第二输入装置向所述传输管道依次输入第一体积的洁净气体和第二体积的洁净液体。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述传输管道内产生驱动气流，通过所述传输管道内的驱动气流对所述待测样液进行传输，包括：通过调节压力调节器的制动压力以在所述传输管道内产生驱动气流；所述驱动气流通过推动所述洁净液体和所述洁净气体，来推动所述待测样液进行传输。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述传输管道内产生驱动气流，包括：通过调节位于所述传输管道输入端的第一压力调节器以产生第一制动压力；通过调节位于所述传输管道输出端的第二压力调节器以产生第二制动压力；通过所述第一制动压力与所述第二制动压力的压力差，在所述传输管道内产生驱动气流。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一体积等于所述第二体积。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述洁净液体为表面张力大于所述待测样液的表面张力的液体。7.一种传输装置，其特征在于，包括：传输管道和压力调节器；其中，所述传输管道用于传输待测样液；所述压力调节器包括位于所述传输管道输入端的第一压力调节器和位于所述传输管道输出端的第二压力调节器，所述第一压力调节器和所述第二压力调节器协同工作以对所述传输管道内的所述待测样液进行传输。8.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，还包括：与所述传输管道的输入端连接的第一输入装置和第二输入装置；所述第一输入装置用于向所述传输管道输入所述待测样液；所述第二输入装置用于向所述传输管道输入洁净气体和洁净液体。9.根据权利要求8所述的传输装置，其特征在于，所述洁净液体为表面张力大于所述待测样液的表面张力的液体。10.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，还包括：与所述传输管道的输出端连接的质谱仪，所述质谱仪用于对所述待测样液进行元素含量分析。2CN113640364A说明书1/8页一种传输方法和装置技术领域[0001]本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种传输方法和装置。背景技术[0002]目前，各种高纯化学品在IC制程工艺中被广泛的使用，且起到十分重要的作用，但化学品中无机杂质元素污染会直接危害集成电路的各项性能。因此，在进行IC制程工艺之前，需要准确的测试和分析各化学品的样品参数及污染状况。[0003]但是，在将化学品传输至测试设备的过程中，由于传输管道过长，以及化学品耐受压力有限等因素，会使得化学品内出现气泡甚至断层现象，导致测试时进样量减少，测试值偏小失真，甚至由于在之前的传输过程中存在于传输管道内的残留样品，导致当前的传输的化学品受到污染，影响测试结果。发明内容[0004]有鉴于此，本申请实施例为解决现有技术中存在的至少一个问题而提供一种传输方法和装置。[0005]为达到上述目的，本申请的技术方案是这样实现的：[0006]本申请实施例第一方面提供一种传输方法，所述方法包括：[0007]将待测样液、第一体积的洁净气体和第二体积的洁净液体