真空系统及其作业控制方法、装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114352500A(43)申请公布日2022.04.15(21)申请号202111674576.2(22)申请日2021.12.31(71)申请人苏州中科科美科技有限公司地址215163江苏省苏州市苏州高新区科技城昆仑山路189号3号厂房1楼(72)发明人张利静胡艳娟王欣(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限公司11505代理人秦卫中(51)Int.Cl.F04B37/14(2006.01)F04B41/06(2006.01)F04B49/06(2006.01)F04D27/00(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图3页(54)发明名称真空系统及其作业控制方法、装置(57)摘要本发明涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置，属于真空系统技术领域。采用本发明的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。CN114352500ACN114352500A权利要求书1/2页1.一种真空系统，其特征在于，包括：前级泵、分子泵、工件预留口、控制器、真空检测组件和管路控制组件；其中，所述真空检测组件，用于检测第一位置和第二位置的真空度，在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于第一真空阈值时，向所述控制器发送第一触发信号；所述第一位置位于所述前级泵与所述分子泵之间，所述第二位置位于所述前级泵与所述工件预留口之间，第三位置位于所述分子泵与所述工件预留口之间；所述管路控制组件，用于根据所述控制器的控制指令，控制所述第一位置、第二位置和第三位置的管路开闭状态；所述控制器，用于在接收到所述第一触发信号时，向所述管路控制组件和所述分子泵发送第一控制信号，以使在当所述第二位置的管路关闭，所述第一位置和所述第三位置的管路开启时，控制所述分子泵启动。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第二控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于检测第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第二触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第二触发信号时，向所述管路控制组件发送第三控制信号，以使所述第三位置的管路关闭。4.根据权利要求2‑3任一所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到预抽指令时，向所述管路控制组件发送第四控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；所述真空检测组件，还用于在当所述第一位置和/或第二位置的真空度至少小于所述第一真空阈值时，向所述控制器发送第三触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第三触发信号时，向所述管路控制组件发送第五控制信号，以使当所述第二位置的管路关闭。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于间隔预设换件时长，向所述控制器发送第四触发信号；所述控制器，还用于在收到所述第四触发信号时，向所述管路控制组件发送第六控制信号，以使所述第二位置的管路打开、第三位置的管路关闭；所述真空检测组件，还用于在所述第二位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第五触发信号；所述控制器还用于在收到所述第五触发信号时，向所述管路控制组件发送第七控制信号，以使第二位置的管路关闭、第三位置的管路打开。6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到换件指令时，向所述管路控制组件发送第八控制信号，以使所述第一位置和所述第三位置的管路均关闭。7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空检测组件，还用于检测所述第三位置的真空度，在当所述第三位置的真空度小于第二真空阈值时，向所述控制器发送第六触发信号；所述控制器，还用于在接收到所述第六触发信号时，向所述管路控制组件发送第九控制信号，以使第一位置和第三位置的管路均关闭。8.根据权利要求6‑7任一所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在接收到预抽指2CN114352500A权利要求书2/2页令时，向所述管路控制组件发送第十控制信号，以使所述第二位置的管路打开，以实现对更换后的工件进行预抽；所述真空检测组件，还用于在当所