一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114577126A(43)申请公布日2022.06.03(21)申请号202210462191.8(22)申请日2022.04.29(71)申请人西安地山视聚科技有限公司地址710116陕西省西安市沣东新城镐京大道汉池一路沣悦云创中心(72)发明人张渤赵谦郑轩王丹张方(74)专利代理机构西安创知专利事务所61213专利代理师马凤云(51)Int.Cl.G01B11/06(2006.01)G06T7/60(2017.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法(57)摘要本发明公开了一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法，包括步骤：一、在双层复合石英坩埚上布设光栅检测点；二、采集光栅检测点移动时的视频图像；三、对信息待提取视频的有效视频段进行选择；四、选择有效视频段中内条纹光栅贴片和外条纹光栅贴片各自图像质量最高的一帧图像；五、根据内条纹光栅贴片和外条纹光栅贴片各自图像质量最高的一帧图像的拍摄时间差和待测坩埚的移动速度计算待测坩埚在当前光栅检测点处的厚度。本发明基于图像识别进行双层复合石英坩埚壁厚的检测，检测速度快、检测精度高，对每个光栅检测点都有视频留存便于溯源，可根据实际需求进行检测精度的调整，大大降低检测成本，提高检测效率。CN114577126ACN114577126A权利要求书1/2页1.一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、在双层复合石英坩埚上布设光栅检测点：步骤101、在双层复合石英坩埚的圆周侧壁上均匀布设多个光栅检测点，每个所述光栅检测点均包括设置在双层复合石英坩埚内侧壁上的内检测点和设置在双层复合石英坩埚外侧壁上且与内检测点对应的外检测点；步骤102、在所述内检测点上粘贴内条纹光栅贴片（1‑1），内条纹光栅贴片（1‑1）的中心与内检测点重合，在外检测点上粘贴外条纹光栅贴片（1‑2），外条纹光栅贴片（1‑2）的中心与外检测点重合，将已粘贴好内条纹光栅贴片（1‑1）和外条纹光栅贴片（1‑2）的双层复合石英坩埚记作待测坩埚（2）；其中，内条纹光栅贴片（1‑1）和外条纹光栅贴片（1‑2）呈正交布设；步骤二、采集光栅检测点移动时的视频图像：对任一个光栅检测点移动时的视频图像进行采集的方法均相同，对第j个光栅检测点移动时的视频图像进行采集的具体步骤为：步骤201、将待测坩埚（2）上的第j个光栅检测点的外检测点正对定焦相机（3）镜头的中心；其中，j=1,2，...，i，i为所述光栅检测点的个数；步骤202、控制待测坩埚（2）由靠近定焦相机（3）的方向向远离定焦相机（3）的方向水平直线移动，在待测坩埚（2）移动的过程中，使用定焦相机（3）持续采集待测坩埚（2）移动时第j个光栅检测点上的内条纹光栅贴片（1‑1）和外条纹光栅贴片（1‑2）的视频，当待测坩埚（2）的移动距离大于定焦相机（3）的焦距后停止移动，此时定焦相机（3）停止采集图像，并将定焦相机（3）持续采集到的待测坩埚（2）移动时第j个光栅检测点上的内条纹光栅贴片（1‑1）和外条纹光栅贴片（1‑2）的视频记作第j个光栅检测点的信息待提取视频；步骤三、对信息待提取视频的有效视频段进行选择截取；步骤四、选择有效视频段中内条纹光栅贴片（1‑1）图像质量最高的一帧图像并将其记做内光栅有效图像，选择有效视频段中外条纹光栅贴片（1‑2）图像质量最高的一帧图像并将其记做外光栅有效图像；步骤五、根据内光栅有效图像和外光栅有效图像的拍摄时间差以及待测坩埚的移动速度计算待测坩埚在第j个光栅检测点处的厚度。2.按照权利要求1所述的一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法，其特征在于：步骤二中，将待测坩埚（2）上的第j个光栅检测点的外检测点正对定焦相机（3）镜头的中心的具体步骤为：将待测坩埚（2）吸附在负压旋转安装座上，所述负压旋转安装座安装在移动检测台上，调整所述移动检测台的高度和所述负压旋转安装座的角度，使第j个光栅检测点的外检测点正对定焦相机（3）镜头中心；所述移动检测台包括台面（4）、用于支撑台面（4）的升降支撑架（7）和设置在台面（4）上的丝杆导轨滑台（5），所述负压旋转安装座安装在丝杆导轨滑台（5）的滑座（6）上；所述滑座（6）上设置有伸入至待测坩埚（2）内的补光灯（8）；所述负压旋转安装座包括设置在滑座（6）顶部的回转驱动（9）和设置在回转驱动（9）顶部的负压吸附台（10），所述负压吸附台（10）的顶部开设有与真空泵（11）的抽气嘴连通的负压通道（12）；所述回转驱动（9）的内圈与滑座（6）连接，所述回转驱动（9）的外圈与负压吸附台（10）连接。2CN114577126A权利要求书2/2页3.按照权利要求1所述的一种非接触式