一种撕、贴膜装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114698247A(43)申请公布日2022.07.01(21)申请号202111588702.2(22)申请日2021.12.23(71)申请人深圳市易天半导体设备有限公司地址518000广东省深圳市宝安区沙井街道大王山社区西部工业园办公楼5栋一层(72)发明人黄招凤陈罡彪王永义(74)专利代理机构深圳市中联专利代理有限公司44274专利代理师王成(51)Int.Cl.H05K3/00(2006.01)H05K3/28(2006.01)权利要求书3页说明书10页附图32页(54)发明名称一种撕、贴膜装置(57)摘要本发明属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种撕、贴膜装置，包括机架，以及设于机架上的以下模组：入料翻转模组，用于上料；撕残胶模组，用于将来自入料翻转模组的工件表面上的残留胶膜去除；清洁模组，用于清洁来自撕残胶模组的工件表面的粘胶；贴膜模组，用于在来自清洁模组的工件表面贴膜；撕膜模组，用于撕掉来自贴膜模组的工件表面的离型膜；出料翻转模组，用于收集来自撕膜模组的工件并传送至下一工序。采用上述结构，同现有同类技术相比，本发明在同一设备上集成了撕残胶、清洁、贴膜及撕膜功能，有利于减小安装空间，便于使用者控制和维护设备，降低使用成本及采购成本；而且简化了本装置的结构设计，有利于进一步降低成本。CN114698247ACN114698247A权利要求书1/3页1.一种撕、贴膜装置，其特征在于，包括机架，以及：入料翻转模组，其设于机架上，用于上料；撕残胶模组，其设于机架上，用于将来自入料翻转模组的工件表面上的残留胶膜去除；清洁模组，其设于机架上，用于清洁来自撕残胶模组的工件表面的粘胶；贴膜模组，其设于机架上，用于在来自清洁模组的工件表面贴膜；撕膜模组，其设于机架上，用于撕掉来自贴膜模组的工件表面的离型膜；出料翻转模组，其设于机架上，用于收集来自撕膜模组的工件并传送至下一工序。2.如权利要求1所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，还包括六个设于机架上的在Y向往复运动的Y向传送模组，其分别为用于与入料翻转模组、撕残胶模组、清洁模组、贴膜模组、撕膜模组及出料翻转模组对接的第一、二、三、四、五及六Y向传送模组；所述第一Y向传送模组与将来自入料翻转模组的工件沿Y向送出；所述第二、三、四、五Y向传送模组分别将来自上一工位的工件沿Y向送至撕残胶模组、清洁模组、贴膜模组、撕膜模组并将完成该工位加工的工件分别沿Y向送出；所述第六Y向传送模组与将来自撕膜模组的工件沿Y向送至出料翻转模组。3.如权利要求2所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，还包括，用于将来自入料翻转模组的工件沿X向向第二Y向传送模组搬送的第一X向搬送模组；用于在第二、三、四、五Y向传送模组之间沿X向搬送工件的第二X向搬送模组；用于将来自撕膜模组的工件沿X向向第六Y向传送模组搬送的第三X向搬送模组。4.如权利要求3所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述入料翻转模组包括，设于机架上表面的入料底座，设于入料底座上的入料升降气缸，设于入料升降气缸的气缸轴上的入料升降支架，设于入料升降支架上入料翻转电机，与入料翻转电机输出轴相连接的用于吸取放置工件的玻璃盘的入料翻转吸盘。5.如权利要求3所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述撕残胶模组包括，设于机架上表面的撕残胶底座，设于撕残胶底座上的撕残胶Y向组件，设于撕残胶Y向组件上且可在Y向往复运动的撕残胶X向组件，设于撕残胶X向组件上且可在X向往复运动的撕残胶Z向组件，设于撕残胶Z向组件上且可在Z向往复运动的Z向缓冲组件，设于Z向缓冲组件下端的撕残胶组件。6.如权利要求5所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述撕残胶Y向组件、撕残胶X向组件及撕残胶Z向组件均采用标准丝杆直线模组；所述Z向缓冲组件包括，设于撕残胶Z向组件上的缓冲安装板，设于缓冲安装板上的缓冲气缸，设于缓冲气缸输出轴上的活动接头，与活动接头下端相连接的缓冲底座；所述撕残胶组件包括，设于缓冲底座上且位于其下方的夹头气缸安装座，与夹头气缸安装座下端相连接的夹头气缸底座，设于夹头气缸安装座内的夹头气缸，与夹头气缸输出轴相连接的夹头，设于夹头气缸底座前表面上用于铲起工件上残留的胶膜并与夹头相配合夹紧该胶膜的铲胶头。7.如权利要求3所述的一种撕、贴膜装置，其特征在于，所述清洁模组包括，设于机架上表面的清洁底板，垂直设于清洁底板上表面的安装立板，设于安装立板上且位于其前侧的料带放料卷及料带收料卷、若干料带张紧辊、料带收料电机及料带收料主动辊，设于清洁底板上表面用于与料带收料主动辊配合夹紧料带收料卷收取的废弃料带的料带从动辊组件，设于安装立板前方的且与料带放料卷上的清洁料带相连接的清洁辊组件。2CN114698247A权利要求书2/3