掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114815519A(43)申请公布日2022.07.29(21)申请号202210446397.1(22)申请日2022.04.26(71)申请人深圳市龙图光电有限公司地址518000广东省深圳市宝安区沙井街道新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房一楼(72)发明人侯广杰黄执祥谢超(74)专利代理机构广东普润知识产权代理有限公司44804专利代理师寇闯(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)G03F1/62(2012.01)G03F1/48(2012.01)B65B69/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置(57)摘要本发明属于掩模保护领域，尤其涉及一种掩模护膜、掩模护膜移除方法以及掩模护膜移除装置，其中，掩模护膜包括支撑框以及保护膜，所述支撑框呈环形并具有在中心轴线延伸方向相对设置的抵靠面以及装膜面，所述抵靠面以及装膜面均呈环形，所述抵靠面分为均呈环形的粘接平面以及导流斜面，所述粘接平面开设有多个吸胶孔，所述支撑框开设有与各所述吸胶孔连通的排气通道，所述排气通道于外环面开设有一个排气孔。将掩模护膜从掩模版移除之后，掩模版上不会残留有粘胶。CN114815519ACN114815519A权利要求书1/2页1.一种掩模护膜，其特征在于，包括支撑框以及保护膜，所述支撑框呈环形并具有在中心轴线延伸方向相对设置的抵靠面以及装膜面，所述抵靠面以及装膜面均呈环形，所述抵靠面分为均呈环形的粘接平面以及导流斜面，所述粘接平面开设有多个吸胶孔，所述支撑框开设有与各所述吸胶孔连通的排气通道，所述排气通道于外环面开设有一个排气孔，其中，各所述吸胶孔间隔设置，且均布于所述粘接平面，各所述吸胶孔的孔口直径0.8mm‑1.2mm，任意两所述吸胶孔之间的最小间距为1.5‑2mm，所述导流斜面位于所述粘接平面外环侧，所述导流斜面朝所述装膜面倾斜设置，所述保护膜连接于所述装膜面，并封堵所述装膜面围合形成的环口。2.如权利要求1所述掩模护膜，其特征在于，所述吸胶孔的孔径沿所述粘接平面指向所述安装面的方向减缩设置。3.一种掩模护膜移除方法，用于将掩模护膜从掩模版上移除，其中，所述掩模护膜为权利要求1或2所述的掩模护膜，所述粘接平面与所述掩模版之间通过双面胶粘接，所述双面胶从所述粘接平面延伸至所述导流斜面，其特征在于，该移除方法包括以下步骤：溶胶：向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙注入溶胶剂，并使所述溶胶剂逐渐渗入到所述双面胶和所述掩模版之间；吸胶：通过负压发生机构于所述排气孔处产生负压，使所述双面胶中与各所述吸胶孔对应的部分凸入对应的所述吸胶孔；固胶：向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙喷射液氮，并使双面胶固化；移除：将所述掩模护膜从所述掩模版移除。4.如权利要求3所述掩模护膜移除方法，其特征在于，在溶胶步骤中，使所述掩模版和所述掩模护膜倾斜，并使所述掩模版和所述掩模护膜绕所述掩模版的中心轴线转动，且从上往下向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙注入溶胶剂。5.如权利要求3所述掩模护膜移除方法，其特征在于，在固胶步骤中，使所述掩模版和所述掩模护膜倾斜，并使所述掩模版和所述掩模护膜绕所述掩模版的中心轴线转动，且从上往下向所述导流斜面和所述掩模版之间的间隙喷射液氮。6.如权利要求3所述的掩模护膜移除方法，其特征在于，在溶胶步骤中，对所述掩模护膜施加远离所述掩模版的预离力。7.一种掩模护膜移除装置，用于将掩模护膜从掩模版上移除，其中，所述掩模护膜为权利要求1或2所述的掩模护膜，所述粘接平面与所述掩模版之间通过双面胶粘接，所述双面胶从所述粘接平面延伸至所述导流斜面，其特征在于，所述掩模护膜移除装置包括承载平台、负压发生机构以及移除机构，所述承载平台用于承载掩模版，所述负压发生机构与排气孔连通，所述移除机构能够抓持所述掩模护膜并使所述掩模护膜远离所述掩模版。8.如权利要求7所述的掩模护膜移除装置，其特征在于，所述承载平台能够使所述掩模版倾斜，以及使所述掩模版绕所述掩模版的中心轴线转动。9.如权利要求7所述的掩模护膜移除装置，其特征在于，所述移除机构包括抓持结构以及驱动结构，所述抓持结构用于抓持所述掩模护膜，所述驱动结构包括连接杆、固定部、活动部和驱动气囊，所述连接杆一端连接所述活动部，另一端连接所述抓持结构，所述固定部位于所述活动部和所述驱动结构之间，所述驱动气囊位于所述固定部和所述活动部之间，且一并抵接所述固定部和所述活动部，所述驱动气囊通过膨胀和收缩来带动所述活动部相2CN114815519A权利要求书2/2页对移动。10.如权利要求7所述的掩模护膜移除装置，其特征在于，所述掩模护膜移除装置还包括设于所述承载平台的