一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统及分离过滤方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114890567A(43)申请公布日2022.08.12(21)申请号202210552479.4(22)申请日2022.05.24(71)申请人江苏想象医疗科技有限公司地址223001江苏省淮安市淮阴区丁集镇丁集总部经济产业园2号楼3003-7室(72)发明人王庆赞(74)专利代理机构杭州润涞知识产权代理事务所(特殊普通合伙)33358专利代理师李磊(51)Int.Cl.C02F9/02(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统及分离过滤方法(57)摘要本发明提供一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统及分离过滤方法，旨在解决现有的有机胶显影废液回收系统在回收处理时，由于有机胶的分子量更大，对膜的粘附性更大，很容易污染堵塞纳滤膜，TAAH分离效果会逐步降低的问题，包括有沿显影废液分离过滤流程依次设置并通过主管路连接的：废液储罐，用于盛放显影废液；陶瓷膜过滤组件，用于截留显影废液中高分子的有机胶，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液；产品储罐，用于盛放含有少量有机胶的透过液。本发明尤其适用于显影废液回收再生系统中高分子的有机胶分离，具有较高的社会使用价值和应用前景。CN114890567ACN114890567A权利要求书1/1页1.一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于，包括有沿显影废液分离过滤流程依次设置并通过主管路连接的：废液储罐(10)，用于盛放显影废液；陶瓷膜过滤组件(60)，用于截留显影废液中高分子的有机胶以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液；产品储罐(20)，用于盛放含有少量有机胶的透过液。2.如权利要求1所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：所述陶瓷膜过滤组件(60)至少包括有依次逐步截留显影废液中高分子的有机胶的一级陶瓷膜过滤件(60A)、二级陶瓷膜过滤件(60B)和三级陶瓷膜过滤件(60C)，以获得含高分子有机胶的非透过液和含有少量有机胶的透过液。3.如权利要求2所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：所述一级陶瓷膜过滤件(60A)的陶瓷膜为孔径50‑200nm，膜通量为120L/m2·h的微滤陶瓷膜。4.如权利要求2所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：所述二级陶瓷膜过滤件(60B)的陶瓷膜为孔径2‑50nm，膜通量为40L/m2·h的超滤陶瓷膜。5.如权利要求2所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：所述三级陶瓷膜过滤件(60C)的陶瓷膜为孔径≤2nm纳米，膜通量为30L/m2·h的纳滤陶瓷膜。6.如权利要求2所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：所述二级陶瓷膜过滤件(60B)和三级陶瓷膜过滤件(60C)上均设有向一级陶瓷膜过滤件(60A)输入侧主管路回流非透过液的回流管(601)。7.如权利要求1所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：还包括有设置于废液储罐(10)与陶瓷膜过滤组件(60)之间的初滤件(50)，用于初步过滤去除显影废液中可见固体杂质。8.如权利要求1所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：所述陶瓷膜过滤组件(60)上设有用于向外部废水处理系统排出陶瓷膜过滤组件(60)中截留的非透过液的废液输出管(70)和安装于废液输出管上以控制非透过液流量的控制阀(701)。9.如权利要求1所述的有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统，其特征在于：所述废液储罐(10)与初滤件(50)之间的主管路上安装有第一高压泵(30)，初滤件(50)与陶瓷膜过滤组件(60)之间的主管路上安装有第二高压泵(40)。10.一种基于有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统的分离过滤方法，其特征在于：包括如下步骤：S1、废液储罐(10)内显影废液经第一高压泵(30)驱动进入主管路；S2、主管路内的显影废液先经初滤件(50)过滤去除显影废液中可见固体杂质，完成初滤；S3、初滤后的显影废液经第二高压泵(40)进入陶瓷膜过滤组件(6)并依次至少经过一级陶瓷膜过滤件(60A)、二级陶瓷膜过滤件(60B)和三级陶瓷膜过滤件(60C)形成微滤、超滤和纳滤，显影废液分离成为含有少量有机胶的透过液和截留的非透过液；S4、含有少量有机胶的透过液收集进入产品储罐(20)，截留的非透过液经废液输出管(70)输出至外部废水处理系统处理后排放。2CN114890567A说明书1/4页一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统及分离过滤方法技术领域[0001]本发明涉及半导体及平板显示器制造技术领域，具体涉及一种有机胶显影废液回收再生的分离过滤系统及分离过滤方法。背