一种连筋检测装置以及切筋设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115188686A(43)申请公布日2022.10.14(21)申请号202210803827.0(22)申请日2022.07.07(71)申请人安徽耐科装备科技股份有限公司地址244000安徽省铜陵市经济技术开发区内(72)发明人范先越胡火根方唐利黄明玖周传恩吴成胜汪祥国(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463专利代理师刘锋(51)Int.Cl.H01L21/66(2006.01)H01L21/48(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图4页(54)发明名称一种连筋检测装置以及切筋设备(57)摘要本发明公开了一种连筋检测装置以及切筋设备，涉及半导体切筋技术领域。该连筋检测装置包括机架、驱动机构、检测杆、传动机构和传感器。传动机构活动安装于机架上，传动机构的一端与检测杆连接，另一端与传感器配合，驱动机构安装于机架上，驱动机构用于带动产品朝靠近检测杆的方向送料，检测杆用于伸入产品的切筋槽，且与切筋槽滑动配合，检测杆能够在切筋槽内残留有连筋时在连筋的抵持作用下带动传动机构运动，以使传感器检测到产品有切筋缺陷。本发明提供的连筋检测装置能够对产品的切筋缺陷进行准确检测，检测精度高，检测效果好，并且能够有效降低检测成本，实用可靠。CN115188686ACN115188686A权利要求书1/1页1.一种连筋检测装置，其特征在于，包括机架(110)、驱动机构(120)、检测杆(130)、传动机构(140)和传感器(150)，所述传动机构(140)活动安装于所述机架(110)上，所述传动机构(140)的一端与所述检测杆(130)连接，另一端与所述传感器(150)配合，所述驱动机构(120)安装于所述机架(110)上，所述驱动机构(120)用于带动产品(200)朝靠近所述检测杆(130)的方向送料，所述检测杆(130)用于伸入所述产品(200)的切筋槽(210)，且与所述切筋槽(210)滑动配合，所述检测杆(130)能够在所述切筋槽(210)内残留有连筋时在所述连筋的抵持作用下带动所述传动机构(140)运动，以使所述传感器(150)检测到所述产品(200)有切筋缺陷。2.根据权利要求1所述的连筋检测装置，其特征在于，所述传动机构(140)包括安装板(141)和传动杆(142)，所述检测杆(130)连接于所述安装板(141)的一侧，所述传动杆(142)连接于所述安装板(141)的另一侧，所述传动杆(142)与所述传感器(150)配合。3.根据权利要求2所述的连筋检测装置，其特征在于，所述传感器(150)为光敏传感器(150)，所述传感器(150)开设有感光口(151)，所述传动杆(142)的位置与所述感光口(151)的位置相对应，所述检测杆(130)用于通过所述安装板(141)带动所述传动杆(142)运动，以遮蔽或者打开所述感光口(151)。4.根据权利要求2所述的连筋检测装置，其特征在于，所述安装板(141)包括重叠设置且相互连接的固定板(143)和垫板(144)，所述固定板(143)开设有台阶孔(145)，所述检测杆(130)的端部设置有凸台(131)，所述凸台(131)设置于所述台阶孔(145)内，且与所述垫板(144)抵持，所述传动杆(142)连接于所述垫板(144)远离所述固定板(143)的一侧。5.根据权利要求2所述的连筋检测装置，其特征在于，所述机架(110)设置有定位板(111)，所述定位板(111)与所述安装板(141)平行设置，所述定位板(111)开设有相互连通的安装槽(112)和限位孔(113)，所述传感器(150)安装于所述安装槽(112)内，所述传动杆(142)与所述限位孔(113)滑动配合。6.根据权利要求5所述的连筋检测装置，其特征在于，所述连筋检测装置还包括第一复位弹簧(160)，所述传动杆(142)的周面围设有限位环(146)，所述第一复位弹簧(160)套设于所述传动杆(142)外，所述第一复位弹簧(160)的一端与所述限位环(146)抵持，另一端与所述安装槽(112)的底壁抵持。7.根据权利要求5所述的连筋检测装置，其特征在于，所述连筋检测装置还包括销钉(170)和第二复位弹簧(180)，所述销钉(170)固定安装于所述安装板(141)上，且通过所述第二复位弹簧(180)与所述定位板(111)连接。8.根据权利要求5所述的连筋检测装置，其特征在于，所述连筋检测装置还包括导柱(190)和导套(191)，所述导套(191)固定安装于所述定位板(111)内，所述导柱(190)固定连接于所述安装板(141)上，且与所述导套(191)滑动配合。9.根据权利要求1所述的连筋检测装置，其特征在于，所述驱动机构(120)包