一种高纯气体柔性收集方法和装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115751172A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211427716.0(22)申请日2022.11.15(71)申请人常州机电职业技术学院地址213100江苏省常州市武进区湖塘镇鸣新中路26号(72)发明人倪浩董永健叶勤荣刘宁波金玉仪魏士凯王涛郑雄(74)专利代理机构常州市科谊专利代理事务所32225专利代理师芮雪萍(51)Int.Cl.F17C5/06(2006.01)F17C13/00(2006.01)F17C13/02(2006.01)F17C1/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种高纯气体柔性收集方法和装置(57)摘要本发明公开了一种高纯气体柔性收集方法和装置，包括：容器连通气体提纯设备和气体灌装设备；当气体提纯设备和气体灌装设备之间不同步，高纯气体不能顺利进入气体灌装设备，高纯气体滞留在柔性缓冲件与容器之间的高纯气体流通腔处，随着高纯气体流通腔处的高纯气体压力的变化，柔性缓冲件顺着容器移动位置，变化柔性缓冲件的体积；智能控制系统监测高纯气体流通腔处的压力和柔性缓冲件的滑动距离，柔性缓冲件、气体提纯设备和气体灌装设备之间达到平衡；克服了高纯气体的生产提纯灌装过程中，气体提纯设备将高纯气体直接输送至气体灌装设备中，两者中有其一出现问题，会导致高纯气体不能够正常输送，出现局部压力升高，存在安全隐患的技术问题。CN115751172ACN115751172A权利要求书1/2页1.一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于，包括：容器(10)，所述容器(10)内具有中空内腔(11)，所述中空内腔(11)连通气体提纯设备(100)和气体灌装设备(200)；柔性缓冲件(20)，所述柔性缓冲件(20)的一端连接在所述中空内腔(11)内，将所述中空内腔(11)分隔为缓冲腔(111)和高纯气体流通腔(112)，所述高纯气体流通腔(112)连通所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)，所述柔性缓冲件(20)的另一端穿在所述容器(10)上，与所述容器(10)活动连接，随着所述高纯气体流通腔(112)中的高纯气体压力的变化，所述柔性缓冲件(20)顺着所述缓冲腔(111)移动位置，变化所述柔性缓冲件(20)的体积，减小所述缓冲腔(111)的体积，形成柔性缓冲；以及智能控制系统(30)，设置在所述容器(10)处，并且与所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)电性连接，用于监测所述高纯气体流通腔(112)处的压力和所述柔性缓冲件(20)的滑动距离，调节所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)。2.根据权利要求1所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述容器(10)为圆柱形罐体，具有圆柱形的所述中空内腔(11)。3.根据权利要求2所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述容器(10)的顶部上具有若干个风孔(12)。4.根据权利要求3所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述柔性缓冲件(20)包括：气囊体(21)，设置在所述中空内腔(11)中，一端与所述容器(10)的内壁连接，所述气囊体(21)将所述中空内腔(11)分隔为所述缓冲腔(111)和所述高纯气体流通腔(112)；以及滑动压件(22)，底部与所述气囊体(21)的另一端连接，顶部穿出所述容器(10)的顶部，顺着所述容器(10)滑动位置，并且所述滑动压件(22)的自身重量下压所述气囊体(21)。5.根据权利要求4所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述滑动压件(22)包括：圆形压块(221)，与所述气囊体(21)的另一端连接；以及导向轴(222)，连接在所述圆形压块(221)上，并且穿出所述容器(10)的顶部，顺着所述容器(10)滑动位置。6.根据权利要求5所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述智能控制系统(30)包括：智能处理模块(31)，与所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)电性连接；气压传感器(32)，连接在所述容器(10)的底部上，与所述智能处理模块(31)电性连接，用于监测所述高纯气体流通腔(112)处的高纯气体的气压；以及滑动距离传感器(33)，连接在所述容器(10)的顶部上，与所述智能处理模块(31)电性连接，用于监测所述滑动压件(22)的移动距离。7.一种高纯气体柔性收集方法，其特征在于，采用如权利要求1‑6任一项所述的高纯气体柔性收集装置，包括：所述容器(10)连通所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)，所述气体提纯设备(100)中产生的高纯气体，顺着所述容器(10)进入所述气体灌装设备(200)；当所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(