压电式压力传感器和制造这种压电式压力传感器的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106404266A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201610620909.6(22)申请日2016.08.01(30)优先权数据151793792015.07.31EP(71)申请人基斯特勒控股公司地址瑞士温特图尔(72)发明人R·布克M·吉格(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003代理人黄艳谢强(51)Int.Cl.G01L9/08(2006.01)权利要求书2页说明书12页附图8页(54)发明名称压电式压力传感器和制造这种压电式压力传感器的方法(57)摘要本发明涉及一种压电式压力传感器(1)，具有：检测压力变化的膜(21)；压电式接收器(22)，所检测到的压力变化在该压电式接收器上产生极化电荷；电极组件(23)，其接收所产生的极化电荷并作为信号通过电荷传导部(23.2)来传导；电连接元件(43，53)和电信号导体(41.1，51.1)，电连接元件(43，53)与电信号导体(41.1，51.1)电连接和机械连接，其中，电荷传导部(23.2)局部地与电连接元件(43，53)材料配合地连接，并且信号通过电连接元件(43，53)被传导至电信号导体(41.1，51.1)中。CN106404266ACN106404266A权利要求书1/2页1.一种压电式压力传感器(1)，具有：检测压力变化的膜(21)；压电式接收器(22)，所检测到的压力变化在该压电式接收器上产生极化电荷；电极组件(23)，其接收所产生的极化电荷并作为信号通过电荷传导部(23.2)来传导；电连接元件(43，53)和电信号导体(41.1，51.1)，所述电连接元件(43，53)与所述电信号导体(41.1，51.1)电连接和机械连接；其特征在于，所述电荷传导部(23.2)局部地与所述电连接元件(43，53)材料配合地连接，并且信号通过所述电连接元件(43，53)被传导至所述电信号导体(41.1，51.1)中。2.根据权利要求1所述的压电式压力传感器(1)，其特征在于，所述电荷传导部(23.2)的后端部伸入所述电连接元件(43，53)中；并且在该区域中，所述电荷传导部(23.2)的外表面与所述电连接元件(43，53)的内表面彼此材料配合地连接。3.根据权利要求1或2所述的压电式压力传感器(1)，其特征在于，所述压电式压力传感器(1)具有预紧体(24.2)；所述电极组件(23)具有电荷拾取部(23.1)；所述预紧体(24.2)设置在所述电荷拾取部(23.1)的背向所述膜(21)的一侧；并且所述预紧体(24.2)对所述压电式接收器(22)进行机械预紧。4.根据权利要求3所述的压电式压力传感器(1)，其特征在于，所述电荷拾取部(23.1)和所述预紧体(24.2)通过设置在它们之间的第一电绝缘体(25)彼此电绝缘。5.根据权利要求3或4所述的压电式压力传感器(1)，其特征在于，所述电荷传导部(23.2)与所述电荷拾取部(23.1)电连接和机械连接；所述电荷传导部(23.2)设置在所述电荷拾取部(23.1)的背向所述膜(21)的一侧；所述电荷传导部(23.2)中心地延伸通过所述第一电绝缘体(25)和所述预紧体(24.2)；并且通过第三间隙与所述第一电绝缘体(25)和所述预紧体(24.2)间隔开；所述电荷传导部(23.2)在所述预紧体(24.2)的背向所述膜(21)的一侧机械地支撑在电绝缘套管组件(27)上，所述电绝缘套管组件(27)与所述预紧体(24.2)机械地连接。6.根据权利要求5所述的压电式压力传感器(1)，其特征在于，所述电极组件(23)通过所述电荷拾取部(23.1)机械地支撑在第一支撑区域中，其中，所述电荷拾取部(23.1)、所述第一电绝缘体(25)、补偿元件(26)和所述预紧体(24.2)彼此机械地接触；并且，所述电极组件(23)通过所述电荷传导部(23.2)支撑在第二支撑区域中，其中，所述电荷传导部(23.2)、所述电绝缘套管组件(27)和所述预紧体(24.2)彼此机械地连接。7.根据权利要求5或6所述的压电式压力传感器(1)，其特征在于，所述电绝缘套管组件(27)具有第一适配元件(27.1)、第二电绝缘体(27.2)和第二适配元件(27.3)；所述电荷传导部(23.2)与所述第二适配元件(27.3)电连接和机械连接；并且所述电荷传导部(23.2)和所述预紧体(24.2)通过设置在它们之间的所述第二电绝缘体(27.2)彼此电绝缘。8.根据权利要求3或4所述的压电式压力传感器(1)，其特征在于，所述电极组件(23)通过所述电荷拾取部(23.1)机械地支撑在第一支撑区域中，其中，所述电荷拾取部(23.1)、所述第一电绝缘体(25)、补偿元件(26)和所述预紧体