制造热电转换器的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109560188A(43)申请公布日2019.04.02(21)申请号201811122557.7(22)申请日2018.09.26(30)优先权数据102017217123.52017.09.26DE(71)申请人马勒国际有限公司地址德国斯图加特(72)发明人H-H·安格曼J·格雷恩瓦尔德M·墨瑟T·普法德勒(74)专利代理机构北京市中伦律师事务所11410代理人杨黎峰钟锦舜(51)Int.Cl.H01L35/32(2006.01)H01L35/34(2006.01)H02N11/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图5页(54)发明名称制造热电转换器的方法(57)摘要本发明涉及一种用于制造热电转换器(1)，特别是珀耳帖元件(2)的方法，在该情况下，提供基板(3)并且基板涂覆有热电活性材料(10、15)。实现简化地和/或成本有效地生产具有改进的可变性的热电转换器(1)，因为基板(3)的背离彼此的基板侧(8、9)设置有热电活性材料(10、15)并且将导电传导层(13、18)涂覆到热电活性材料(10、15)上，其中随后将容纳部(24、25)重叠地引入基板侧(8、9)上，其中在彼此背离的侧上，随后各自都涂覆导电覆盖层(34、35)，并且最后在重叠部段(26)中引入间隙(36、37)，以产生转换器(1)。此外，本发明涉及以这种方式生产的热电转换器(1)。CN109560188ACN109560188A权利要求书1/2页1.一种用于制造热电转换器(1)的方法，其中：-提供导电基板(3)，-所述基板(3)的基板顶侧(8)配备有第一热电活性材料(10)，并且导电上传导层(13)被涂覆到所述第一热电活性材料(10)，-所述基板(3)的背离所述基板顶侧(8)的基板底侧(9)配备有第二热电活性材料(15)，并且导电下传导层(18)被涂覆到所述第二热电活性材料(15)，-在所述基板顶侧(8)上，在纵向方向(6)上延伸并且在横向方向(5)上彼此间隔开的上容纳部(24)被引入所述基板顶侧(8)上，并且在所述纵向方向(6)上延伸并且在所述横向方向(5)上彼此间隔开的下容纳部(25)被引入所述基板底侧(9)上，并且因此产生中间产品(31)，其中所述上容纳部(24)各自都在所述横向方向(5)上在沿所述横向方向(5)延伸的重叠部段(26)中与在所述横向方向(5)上相邻的所述下容纳部(25)中的至少一个重叠，并且其中所述容纳部(24、25)各自移除相关联的所述热电活性材料(10、15)，从而形成在所述横向方向(5)上相邻的材料部段(27、29)，-将导电上覆盖层(34)涂覆到所述中间产品(31)的中间产品顶侧(32)，并且将导电下覆盖层(35)涂覆到所述中间产品(31)的背离所述中间产品顶侧(32)的中间产品底侧(33)，-沿所述纵向方向(6)延伸并且在所述横向方向(5)上彼此间隔开的上间隙(36)被引入在所述中间产品顶侧(32)上，并且沿纵向方向(6)延伸并且在横向方向(5)上彼此间隔开的间隙(37)被引入在所述中间产品底侧(33)上，其中相应的间隙(36、37)被引入重叠部段(26)的一个中，-所述间隙(36、37)以使得它们各自移除相关联的覆盖层(34、35)且进入所述基板(3)并且各自形成中空空间(38)的方式被引入，所述中空空间(38)分离在所述横向方向(5)上相邻的所述材料部段(27、29)。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，-所述上容纳部(24)以使得它们各自移除所述上传导层(13)和所述第一热电活性材料(10)的方式被引入，使得形成在所述横向方向(5)上间隔开的材料部段(27)，-所述下容纳部(25)以使得它们各自移除所述下传导层(18)和所述第二热电活性材料(15)的方式被引入，使得形成在所述横向方向(5)上间隔开的下材料部段(29)，-所述上间隙(36)以使得它们各自移除所述上覆盖层(34)且进入所述基板(3)并且各自形成中空空间(38)的方式被引入，所述中空空间(38)分隔在所述横向方向(5)上相邻的材料部段(27、29)，-其中所述底部间隙(37)以使得它们各自移除所述下覆盖层(35)且进入所述基板(3)并且各自形成中空空间(38)的方式被引入，所述中空空间(38)分隔在所述横向方向(5)上相邻的材料部段(27、29)。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在引入所述间隙(24、25)之后，通过引入关于所述纵向方向(6)倾斜延伸的至少一个切口(47)，所述基板(3)被分成至少两个单独的部分(48)，并且相应的所述部分(48)形成热电转换器(1)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述传导层(13、18)中的至少