基于超宽带光源谱域光学相干层析系统及光谱标定方法.pdf
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基于超宽带光源谱域光学相干层析系统及光谱标定方法.pdf
本发明公开了一种基于超宽带光源谱域光学相干层析系统及光谱标定方法,在谱域光学相干层析系统的样品臂放置一块平面反射镜,利用小型化的电动位移平台整体匀速运动来获取一系列运动中的相干光谱;利用在系统成像深度范围内等时间间隔采集到的光谱组进行光谱标定;在时间轴方向进行傅里叶变换处理可以获取多普勒频移分量,首先进行波数均匀化,再精确标定CCD上每个像素所对应的波长。本发明利用小型化的成像系统整体运动代替样品臂平面镜的运动,解决了小型系统样品臂空间不足的问题,结构装置简单,操作方便,标定精度高。
线域频域光学相干层析系统及其纵向坐标标定方法.pdf
本发明涉及一种线域频域光学相干层析系统,包括:光源模块,光源发出的光经凸透镜准直为平行光束;迈克尔逊干涉仪模块,用于将平行光束聚焦并分光为两束光线,一束汇聚于参考镜,另一束汇聚于待测样品表面,两束光经反射后重合发生干涉;线光谱仪模块,干涉光束入射反射式光栅按波长在空间分光后汇聚成干涉谱线,由面阵相机采集图像信号;以及具有图像处理模块的计算机,用于接收、存储、处理图像信号;系统还配设有纵向坐标标定装置,包括:可调狭缝结构,用于调整通过狭缝照射到待测样品上的检测光;以及狭缝位移平台,用于驱动可调狭缝结构位移。
光学相干层析系统中光谱信息的分段并行采集系统及方法.pdf
本发明公开了一种光学相干层析系统中光谱信息的分段并行采集方法,包括:将样品置于迈克尔逊干涉仪的样品臂上,N波长高速并行扫频光源输出等频率间隔并行扫频的N波长光信号,进入到所述迈克尔逊干涉仪,将干涉光谱分为N段,以恒定扫频步长对干涉光谱进行并行采集,获得含样品信息的干涉光谱;对各时刻采集到的干涉光谱信息并行接收,并依次完成N波长干涉光谱信息的分离、分离后光信号的光电转换、将光电转换后信号的模数转换为电域的数据信息后交由计算机,从而完成干涉光谱信息分段并行采集。本发明解除了轴向扫描速率和光谱采样率之间的反比关
结构光照明的频域光学相干层析系统及方法.pdf
本发明公开了一种结构光照明的频域光学相干层析系统及方法,其中系统包括:空间滤波器用于产生干净且空间分布均匀的准直高斯光束;空间光调制器用于对准直高斯光束进行幅值的调制;迈克尔逊干涉仪用于对样本进行干涉测量;成像系统用于将入射的结构光照明成像至样本所在平面;高速光谱探测系统用于在探测端将参考臂和样本臂合并的光束会聚到光谱仪探测的有效区域;处理器用于产生触发信号确保空间光调制器和高速光谱探测系统同步的同时,通过压缩感知算法重建出多次结构光照明下平面中每个像素单元的光谱响应。该系统可以有效提高相干层析的便捷性和
用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法及系统.pdf
本发明涉及一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法及系统,其中系统用于实现如下步骤:S1、搭建谱域光学相干层析成像检测系统;S2、对谱域光学相干层析成像检测系统进行畸变校准;S3、将待测样品放置到样品承载单元上;S4、样品承载单元带动待测样品移动,并且谱域光学相干层析成像单元对待测样品进行扫描并获取待测样品的3D原始层析信号;S5、图像处理单元对3D原始层析信号进行数据处理,获得待测样品的光学相干层析3D图像;S6、缺陷分类单元对光学相干层析3D图像进行分析并输出检测结果。本发明通过计算机后期处理消