一种磁性椭偏测量装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113310907A(43)申请公布日2021.08.27(21)申请号202110643025.3(22)申请日2021.06.09(71)申请人华中科技大学地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号(72)发明人刘世元刘佳敏江浩龚雯棋(74)专利代理机构华中科技大学专利中心42201代理人刘洋洋(51)Int.Cl.G01N21/21(2006.01)G01N21/01(2006.01)G01R33/12(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称一种磁性椭偏测量装置(57)摘要本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种磁性椭偏测量装置，装置包括椭偏测量模块、磁场加载模块以及样品台，椭偏测量模块用于对样品进行光学测量，磁场加载模块包括水平磁场加载模块以及竖直磁场加载模块，其中，水平磁场加载模块包括水平移动组件、第一永久磁铁磁极对、旋转台，旋转台用于带动水平移动组件在水平面内旋转，水平移动组件用于使第一永久磁铁磁极对中的两磁铁相向或向背运动；竖直磁场加载模块包括竖直移动组件以及第二永久磁铁磁极对，竖直移动组件使得第二永久磁铁磁极对的两磁铁相对样品台相向或相背运动。本申请可以对不同磁场强度和不同模式磁场下的待测样品开展椭偏参数和穆勒矩阵测量。CN113310907ACN113310907A权利要求书1/1页1.一种磁光椭偏测量装置，其特征在于，所述装置包括椭偏测量模块(100)、磁场加载模块(200)以及样品台(300)，其中：所述椭偏测量模块(100)包括入射起偏光路和反射检偏光路，入射起偏光路上的测量光经所述样品台(300)上的待测样品反射后进入所述反射检偏光路，其中，所述入射起偏光路沿光路方向依次布置有光源(111)、准直透镜(112)以及偏振态发生组件(113)，所述反射检偏光路沿光路方向依次布置有偏振态探测组件(121)、会聚透镜(122)以及光谱仪(123)；所述磁场加载模块(200)包括水平磁场加载模块(210)以及竖直磁场加载模块(220)，其中，所述水平磁场加载模块(210)包括水平移动组件(211)、第一永久磁铁磁极对(212a、212b)、旋转台(213)，所述水平移动组件(211)对称设于平行设于所述样品台(300)两侧，所述旋转台(213)用于带动所述水平移动组件(211)在水平面内旋转，第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁设于所述样品台(300)的两侧并分别设于所述水平移动组件(211)上，使两磁铁相向或向背运动；所述竖直磁场加载模块(220)包括竖直移动组件(221)以及第二永久磁铁磁极对(222a、222b)，所述竖直移动组件(221)垂直于所述样品台(300)平面，所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁设于所述样品台(300)的上下侧并分别设于所述竖直移动组件(221)上，使得所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁相对所述样品台(300)上的样品相向或相背运动。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁对称设于所述样品台(300)的两侧，且所述样品台(300)上的待测样品位于所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)产生的磁场中间。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述水平移动组件(211)包括第一双向丝杠(211a)和设于所述第一双向丝杠(211a)两端的第一基座(211b)，所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁分别设于所述第一基座(211b)上。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述水平移动组件(211)还包括间距控制单元，用于控制所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁与样品之间的距离。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁对称设于所述样品台(300)的上下侧，且所述样品台(300)上的待测样品位于所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)产生的磁场中间。6.根据权利要求1或5所述的装置，其特征在于，所述竖直移动组件(221)包括第二双向丝杠(221a)和设于所述第二双向丝杠(221a)两端的第二基座(221b)，所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁分别设于所述第二基座(221b)上。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述竖直移动组件(221)还包括间距控制单元，用于控制所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)中的两磁铁与样品之间的距离。8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述偏振态发生组件(113)包括起偏器与一对光弹调制器，所述偏振态探测