一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112476104A(43)申请公布日2021.03.12(21)申请号202011219148.6(22)申请日2020.11.04(71)申请人杭州晗沂科技有限公司地址311225浙江省杭州市钱塘新区临江街道江电商创业园5-176号(72)发明人丁鑫(51)Int.Cl.B24B9/00(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B55/06(2006.01)B24B27/00(2006.01)B24B47/10(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件(57)摘要本发明涉及集成电路制造技术领域，且公开了一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，包括外箱体和传动杆，所述外箱体的内部活动连接有传动杆，所述传动杆的顶端固定连接有上传动齿，所述传动杆的底端固定连接有下传动齿，所述下传动齿的外侧壁啮合有减速齿。进行打磨时，旋转轴外侧的传动齿带动上传动齿旋转，使上传动齿通过传动杆带动下传动齿旋转，由于下传动齿与减速齿啮合，使减速齿被下传动齿带动，使减速齿将旋转速度减缓，同时减速齿带动传动齿盘上的夹持环旋转，使夹持环上被夹持的集成电路板跟随转动，使集成电路板可以与毛刺去除头同步旋转，使其不需要额外的动力驱动夹持组件，达到节省能耗和节能环保的目的。CN112476104ACN112476104A权利要求书1/1页1.一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，包括外箱体(1)和传动杆(2)，其特征在于：所述外箱体(1)的内部活动连接有传动杆(2)，所述传动杆(2)的顶端固定连接有上传动齿(21)，所述传动杆(2)的底端固定连接有下传动齿(22)，所述下传动齿(22)的外侧壁啮合有减速齿(23)，所述减速齿(23)的外侧壁啮合有传动齿盘(24)，所述传动齿盘(24)的输出轴固定连接有夹持环(3)；所述夹持环(3)的外侧壁固定连接有触动杆(31)，所述夹持环(3)的外侧活动连接有支撑环(4)，所述支撑环(4)的内侧壁固定连接有内支撑块(41)，所述内支撑块(41)的外侧壁滑动连接有挤压块一(42)和挤压块二(45)，所述挤压块一(42)的外侧壁滑动连接有传动块一(43)，所述传动块一(43)的一端固定连接有复位弹簧一(44)，所述挤压块二(45)的外侧壁滑动连接有传动块二(46)，所述传动块二(46)的一端固定连接有复位弹簧二(47)，所述挤压块一(42)和所述挤压块二(45)的外侧壁固定连接有弹性球(5)，所述弹性球(5)的内侧壁固定连接有气囊(51)，所述气囊(51)的出气端固定连接有气囊通道(52)，所述气囊通道(52)的一端固定连接有压缩管(53)，所述压缩管(53)的出气端固定连接有排气管(54)，所述排气管(54)的一端固定连接有喷头(55)。2.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，其特征在于：所述外箱体(1)的内部固定连接有旋转轴(11)，所述旋转轴(11)的底部活动连接有毛刺去除头(12)，所述旋转轴(11)的外侧壁固定连接有传动齿(13)。3.根据权利要求2所述的一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，其特征在于：所述上传动齿(21)的外侧壁与所述传动齿(13)的外侧壁相互啮合。4.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，其特征在于：所述减速齿(23)由三个齿轮组成，三个齿轮的直径比均为一比二。5.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，其特征在于：所述弹性球(5)由金属弹性片组成，所述弹性球(5)呈椭圆形结构。6.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，其特征在于：所述气囊(51)共设有两个，两个所述气囊(51)参照所述压缩管(53)的中线对称分布。7.根据权利要求1所述的一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件，其特征在于：所述喷头(55)位于所述夹持环(3)的下方，且所述喷头(55)与所述夹持环(3)相互平行。2CN112476104A说明书1/4页一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件技术领域[0001]本发明涉及集成电路制造技术领域，具体为一种集成电路加工用利用气流清理杂质的毛刺去除组件。背景技术[0002]集成电路板是载装集成电路的一个载体。但往往说集成电路板时也把集成电路带上。集成电路板主要由硅胶构成，所以一般呈绿色。而集成电路板在生产制造的过程中，周边容易出现较多体积较小的毛刺，在长时间的使用过程中脱落的毛刺容易导致集成电路板短路或接触不良现象，从而在生产是通常会使用打磨装置进行打