一种双波长激光退火装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113637823A(43)申请公布日2021.11.12(21)申请号202110883594.5(22)申请日2021.08.03(71)申请人南京科天光电工程研究院有限公司地址210000江苏省南京市江北新区研创园雨合路6号光电科技园C座24楼(72)发明人吴尚张翔熊宝星袁孝(74)专利代理机构南京灿烂知识产权代理有限公司32356代理人李志鸿(51)Int.Cl.C21D1/09(2006.01)C21D1/26(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种双波长激光退火装置及方法(57)摘要本发明公开了一种双波长激光退火装置及方法，涉及退火技术领域。包括控制箱，所述控制箱的一侧设置有防护支架。通过设置电动液压杆，使其有效推动连接套座沿齿槽的延伸方向进行滑动，以便带动操作基座进行前后运动，并通过齿槽和齿辊的啮合连接，使其推动时连接套座产生顿挫感，以便为激光退火预留照射时间，同时通过液压推动杆的作用，有效推动操作基座沿驱动导轨的延伸方向进行滑动，进而调节操作基座的左右移动，进而有效便捷装置的移动调节操作，并通过对操作基座的移动作用，增大装置激光退火的覆盖范围，进而通过齿槽与齿辊的作用，保障了激光退火的照射时长，有效提升了装置使用的退火均匀性，增强其使用效果。CN113637823ACN113637823A权利要求书1/2页1.一种双波长激光退火装置及方法，包括控制箱（1），其特征在于：所述控制箱（1）的一侧设置有防护支架（2），所述防护支架（2）的内底部设置有安装底座（4），所述安装底座（4）的顶部设置有连接机构（5），所述连接机构（5）的内底部设置有操作基座（7），所述连接机构（5）的顶部设置有支撑架体（6），所述支撑架体（6）的顶部设置有激光照射机构（3），所述连接机构（5）的一侧设置有连接固定座（8）；所述激光照射机构（3）的内部两侧分别设置有红外激光器（301）和绿光激光器（303），所述红外激光器（301）的输出口设置有半反射镜（302），所述绿光激光器（303）的输出口设置有反光折射机构（304），所述反光折射机构（304）的输出口设置有调节镜（305）；所述连接机构（5）的底部设置有连接机座（501），所述连接机座（501）的两侧均开设有齿槽（502），所述齿槽（502）的内壁设置有齿辊（508），所述齿辊（508）的内部设置有连接杆（507），所述连接杆（507）一端外壁设置有连接轴承（506），所述连接轴承（506）的外壁设置有连接套座（505），所述连接套座（505）的正面设置有电动液压杆（503），所述连接机座（501）的顶部内壁开设有卡槽（504）；所述操作基座（7）的外壁设置有驱动架（701），所述驱动架（701）的内侧设置有液压推动杆（702），所述驱动架（701）顶部内侧活动设置有驱动导轨（703），所述操作基座（7）的顶部设置有操作台（704），所述操作台（704）的顶部设置有限位夹块（705）。2.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置，其特征在于：所述控制箱（1）的正面顶部设置有显示屏（101），所述控制箱（1）的底部设置有放置柜（102），所述放置柜（102）的顶部设置有操控按键（103），所述操控按键（103）与显示屏（101）电性连接。3.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置，其特征在于：所述防护支架（2）的内底部设置有支撑底板（201），所述支撑底板（201）的顶部设置有连接卡条（202），所述防护支架（2）通过连接卡条（202）与安装底座（4）活动卡接。4.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置，其特征在于：所述安装底座（4）的顶部设置有支撑钢件（401），所述支撑钢件（401）选材为工字型钢件，所述支撑钢件（401）的顶部贯穿设置有固定螺栓（402），且支撑钢件（401）通过固定螺栓（402）与连接机构（5）活动连接。5.根据权利要求4所述的一种双波长激光退火装置，其特征在于：所述支撑钢件（401）的底部外侧设置有固定压件（403），所述固定压件（403）的一侧设置有弹簧压头（404），所述固定压件（403）通过弹簧压头（404）与支撑钢件（401）的底部外壁活动贴合连接。6.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置，其特征在于：所述支撑架体（6）的顶部设置有准直透镜（601），所述支撑架体（6）的底部设置有卡块（602），所述支撑架体（6）通过卡块（602）与连接机构（5）活动卡接。7.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置，其特征在于：所述齿辊（508）的形状大小与齿槽（502）的形状大小相互匹配，所述齿辊（508）和齿槽（502）啮合连接。8.根据