旋转式晶圆自动传输装置.pdf

一种旋转型晶圆自动传输装置，它除继承现有技术中的SMIF中的隔离技术提供洁净的微环境的优点外，还能有效地克服无法适用于在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的抓取机构利用组装在下手臂固定座内的大、小带轮组成的传动机构绕轴转动，设置在抓取机构的抓取电机通过蜗轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。该装置结构设计合理，在制程间传输运行平稳，动作更灵活可靠，拓展了适用范围，能完成晶圆的自动传输，同时能实现

2023-10-22

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紧凑式晶圆自动传输装置.pdf

一种紧凑式晶圆自动传输装置，它克服了现有技术无法在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的升降、伸展电机不在一个平面上，下手臂通过平移机构和翻转机构连接抓取机构，并利用齿轮连杆传动机构驱动抓取机构绕轴线转动，抓取机构的抓取电机驱动夹爪往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。其设计合理，在制程间传输运行平稳，动作灵活可靠，在有限行程空间内完成晶圆水平或垂直状态的自动传输的同时，实现晶圆匣左右平移和翻转，以适应在并列设置的制程设备中心距小于

2023-10-22

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翻转式晶圆自动传输装置.pdf

一种翻转式晶圆自动传输装置，它克服了现有技术无法在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的下手臂通过翻转机构连接抓取机构，抓取机构的固定板通过翻转轴铰接在翻转基座上，抓取机构的抓取电机通过涡轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。该装置结构设计合理，在制程间传输运行平稳，动作更灵活可靠，拓展了适用范围，使之能实现晶圆匣在0-90度范围翻转，且随意设定倾斜角度，以完成晶圆水平或垂直状态的自动传输，同时又

2023-10-22

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平移翻转式晶圆自动传输装置.pdf

一种平移翻转式晶圆自动传输装置，它克服了现有技术无法在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的下手臂通过组装在一起的平移机构和翻转机构连接抓取机构，并利用组装齿轮连杆传动机构驱动抓取机构绕轴线转动，抓取机构的抓取电机驱动夹爪往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。其设计合理，在制程间传输运行平稳，动作灵活可靠，拓展了适用范围，在完成晶圆水平或垂直状态的自动传输的同时，实现晶圆匣左右平移和翻转，以适应在并列设置的制程设备中心距小于传输设备

2023-10-22

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晶圆翻转装置和晶圆传输系统.pdf

本发明实施例提供一种晶圆翻转装置，包括：安装框架；设置在所述安装框架中的支撑架组，所述支撑架组包括至少两个支撑架，每个所述支撑架上设置有多个支撑槽，所述支撑槽具有支撑面，所述支撑面用于对沿第一方向伸入所述安装框架中的晶圆进行支撑；位于不同支撑架上的且用于支撑同一晶圆的支撑面位于同一平面上；设置在所述安装框架中的至少一组保持架组，每组所述保持架组包括至少两个保持架，同一组所述保持架组中的所述保持架均位于所述支撑架组的同侧；所述保持架上设置有导向槽，所述导向槽用于在所述晶圆支撑于所述支撑架时，卡持所述晶圆的边

2023-05-30

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