具有压力调节机构的砂浆供给装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101934559A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101934559A(43)申请公布日2011.01.05(21)申请号201010251675.5(22)申请日2010.08.12(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址065201河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号(72)发明人种宝春靳永吉张为强(74)专利代理机构石家庄新世纪专利商标事务所有限公司13100代理人张贰群(51)Int.Cl.B28D7/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称具有压力调节机构的砂浆供给装置(57)摘要本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。包括电机、泵，其主要特征在于其泵体的出口通过连管和浆罐联通，浆罐上设有浆出口，浆罐上具有机械式压力自动调节结构。其泵体具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。用该装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时可达到大大提高送浆的连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。CN109345ACN101934559A权利要求书1/1页1.一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机(27)、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构：泵体的出口通过连管(33)和罐体(31)连通，罐体(31)上设有砂浆出口(37)，罐体(31)上具有机械式压力自动调节结构。2.根据权利要求1所述的具有压力补偿结构的砂浆供给装置，其特征在于所述的机械式压力自动调节结构为：罐体(31)上口外沿安装紧固有弹性隔膜(30)，弹性隔膜(30)的上方设有保护弹性隔膜(30)的盖式压套(22)，盖式压套(22)套在罐体(31)上，盖式压套(22)和弹簧复位及调整机构相连。3.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的盖式压套(22)具有向内凸的球冠面(35)。4.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的盖式压套(22)具有轴向滑动时避开浆出口的长条孔(20)。5.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的弹簧复位及调整机构的结构为：盖式压套(22)上具有至少和3个固定在罐体(31)连接板(32)上的导柱(23)滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套(22)下部的导孔板上，导柱(23)上在导孔板和导柱(23)上的限位固定板(25)之间设有压力弹簧(24)。6.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的罐体(31)为圆筒状，底部为倒圆台状，连管(33)和倒圆台的顶部联通。7.根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的泵体具有内腔为圆柱形的泵桶(10)，内腔为圆柱形的泵桶(10)中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮(11)。8.根据权利要7所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的具有螺旋槽绞龙式结构的转轮(11)内安装有矩形方块(13)，矩形方块(13)内设有与转轴(12)配合连接的方形孔，转轴(12)设有矩形方块(13)及具有螺旋槽绞龙式结构的转轮(11)的限位结构。9.根据权利要求7所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的泵体的固定座(2)内安装有用于定位固定转轴(12)的轴承(17)，轴承(17)分别由压盖(5)、轴承垫圈(7、8)固定；内腔为圆柱形的泵桶(10)与固定座(2)焊接。2CN101934559A说明书1/3页具有压力调节机构的砂浆供给装置技术领域[0001]本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。背景技术[0002]由于多线锯切割机加工半导体晶棒或晶锭切割成晶片，具有加工效率较高，成品率较高的特点，所以得到了广泛使用。然而，砂浆流量的不均匀性逐渐暴露出来，砂浆流量的不均匀性影响着成品率的进一步提高。造成流量的不均匀的主要原因有：砂浆泵的转轮提升砂浆过程中有波动性和压力的变化。随着半导体晶棒或晶锭尺寸的增大，材料本身价值的不断提高，通过提高或保证加工成品率来降低加工成本，减少经济损失，已成为一个急待解决的问题。发明内容[0003]本发明的目的是提供一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，用该装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时提高连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业