对准装置.pdf
Jo****34
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相关资料
对准装置.pdf
本发明提供一种对准装置,其包括两端开口的容置槽体及设置在容置槽体上的夹持部。该容置槽体包括底板及平行相隔的两侧壁。该侧壁分别由底板相对两侧垂直向上延伸而成。该侧壁的中部沿垂直于底板的方向分别设置有一组相互对应的滑槽。在每一侧壁外侧邻近底板的位置处设置有与该侧壁上的滑槽相对应的固定柱。该夹持部包括至少两个压轮、至少四个轮轴及弹性元件。该压轮于垂直侧壁的方向放入容置槽体内,每一个压轮的两端分别对准侧壁上相互对应的滑槽。该轮轴穿过滑槽后分别连接在压轮的两端。该弹性元件连接在固定柱及对应的轮轴上通过弹力将压轮紧密
一种对准结构、对准方法及对准装置.pdf
本发明提供一种对准结构、对准方法及对准装置,包括:设置于第一半导体基板上的基准金属层及设置于第二半导体基板上对准区域内的金属对准标记,第一半导体基板与所述第二半导体基板上下叠置;基准金属层和对准区域的形状和大小均相同,且均为四边形;金属对准标记为多边形结构;其中,至少4个金属对准标记分别设置于对准区域的4个边区域内,各金属对准标记的至少一条边与对准区域的边重合;或至少4个金属对准标记分别设置于对准区域的4个角区域内,各金属对准标记的一个角与所述对准区域的角重合。本发明将光学测量套刻对准的方法改为了测量电容
浇注对准装置.pdf
本发明公开了一种浇注对准装置,浇注口处滑动连接有漏斗,管道内相抵有以管道中心线对称的阀芯,阀芯上均连有阀杆,阀杆上设有第三齿轮,漏斗两侧设有相同的调节机构,调节机构包括弧形管,弧形管的两端与漏斗连通,弧形管上设有楔形导热块,楔形导热块滑动相连有导热筒,导热筒内设有第一膨胀块,第一膨胀块上设有第一齿条,第一齿条位于第三齿轮下方,楔形导热块与滚轮相抵,滚轮连接在导热筒上,楔形导热块连有第二膨胀块,第二膨胀块连有第二齿条,第二齿条啮合有第一齿轮,第一齿轮啮合有第二齿轮,第二齿轮啮合有第三齿条,第三齿条连接在漏斗
位置对准装置.pdf
本发明防止第一主体件、第二主体件以及追加的部件间的位置关系产生偏移。第一以及第二主体件(1、2)都具有包括检测点且以印刷间距重复的印刷图案。设计位置以该印刷间距分别预先规定于第一以及第二主体件(1、2)。第一搬运装置(10)基于第一传感器(31)的输出对间歇搬运量进行调整,以使第一主体件(1)的设计位置每当间歇搬运停止时与第一固定位置(28)对齐。第二搬运装置(13)基于至少一个第二传感器(33)的输出对第二主体件(2)的张力以及搬运单元(14)的间歇搬运量进行调整,以使第二主体件(2)的设计位置每当间歇
基板旋转对准装置.pdf
本发明涉及基板旋转对准装置,本发明的基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置,包括:连接柱,与用于安装所述基板的安装部连接;旋转载物台,设置为圆形,用于固定所述连接柱,在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部;动力传递部,包括彼此按规定间隔隔开配置的多个滚轮销,其中至少一个所述滚轮销在对所述旋转载物台的区域的凹陷部加压紧贴的状态下进行旋转,以向所述旋转载物台传递动力;及固定部,在彼此按规定间隔隔开配置的多个固定销中至少一个固定销紧贴于所述旋转载物台的另一区域的凹陷部,从而使固