一种具有轴端动密封结构的干式真空泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101985939A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101985939A(43)申请公布日2011.03.16(21)申请号201010565680.3F04C27/00(2006.01)(22)申请日2010.11.30(71)申请人东北大学地址110819辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号申请人中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司(72)发明人岳向吉巴德纯刘坤王光玉张振厚(74)专利代理机构沈阳东大专利代理有限公司21109代理人崔兰莳(51)Int.Cl.F04C25/02(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种具有轴端动密封结构的干式真空泵(57)摘要本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。工作时，各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布，提高泵的极限压力、缩短抽气时间，又可防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。CN109853ACN101985939A权利要求书1/1页1.一种具有轴端动密封结构的干式真空泵,包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，中间转子所在的腔为一级腔体，中间转子两侧的转子所在的腔为二级腔体，二级腔体对称分布在一级腔体的两侧，二级腔体两侧的转子所在的腔为三级腔体，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，其特征在于所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。2.如权利要求1所述的一种具有轴端动密封结构的干式真空泵，其特征在于所述的干式真空泵各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布。3.如权利要求1所述的一种具有轴端动密封结构的干式真空泵，其特征在于所述的干式真空泵腔体为2级～6级，对应的转子组数为3组～11组。2CN101985939A说明书1/2页一种具有轴端动密封结构的干式真空泵技术领域[0001]本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。背景技术[0002]目前的干式真空泵动密封虽然有采用骨架密封和迷宫密封组合式密封的形式，但尚不能完全实现双向密封，无法控制油蒸气进入泵腔或防止腐蚀性气体及颗粒对轴承的影响。为提高泵腔的无油程度，有在齿轮室另设真空泵进行排气以降低齿轮室压力的结构安排；也有在轴承座处喷吹氮气以形成一个高压区，阻止腐蚀性气体及微粒靠近轴承的结构设计，但都无法防止油蒸气进入泵腔，也不能阻止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。发明内容[0003]针对目前干式真空泵所存在的问题，本发明提供一种具有轴端动密封结构的干式真空泵，有效的防止油蒸气进入泵腔，提高泵的极限压力和缩短抽气时间，又防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。[0004]本发明具有轴端动密封结构的干式真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，中间转子所在的腔为一级腔体，中间转子两侧的转子所在的腔为二级腔体，二级腔体对称分布在一级腔体的两侧，二级腔体两侧的转子所在的腔为三级腔体，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，要点在于所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。[0005]所述的干式真空泵各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布。[0006]所述的干式真空泵腔体为2级～6级，对应的转子组数为3组～11组。[0007]本发明与现有技术相比较显著的特点和产生的有益效果是：由于本申请技术方案中，将骨架密封、气体密封和迷宫密封相组合，可有效防止油蒸气向泵腔的泄漏，也使有害气体和颗粒无法接近轴承，同时各级腔体的工作压力沿轴向呈V型分布，位于两侧的泵腔工作压力最高，有效的提高双向动密封效果，从而提高了多级干式真空泵的无油程度、抽气性能和使用寿命。附图说明[0008]图1为