双电容非接触式厚度测量系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102109318A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102109318A(43)申请公布日2011.06.29(21)申请号200910260041.3(22)申请日2009.12.23(71)申请人财团法人精密机械研究发展中心地址中国台湾台中市(72)发明人卓家轩(74)专利代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司11100代理人程凤儒(51)Int.Cl.G01B7/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称双电容非接触式厚度测量系统(57)摘要本发明公开了一种双电容非接触式厚度测量系统，其包含一基准导电板，其具有一第一基准面及一第二基准面；一滑座配置相对的第一电容位移感测器与第二电容位移感测器，且第一、第二电容位移感测器分别相对第一、第二基准面；一基准滚轮位在该基准导电板一端，其直径大于第一基准面与第二基准面间的距离；如此第一、第二电容位移感测器可分别自第一基准面及第二基准面取得一基准讯号，当待测量物进入测量系统，则第一、第二电容位移感测器可分别自待测量物的表面取得一测量讯号，通过计算基准讯号与测量计号可以获知待测量物的厚度。CN102938ACCNN110210931802109321A权利要求书1/1页1.一种双电容非接触式厚度测量系统，是用以测量一待测量物的厚度，其特征在于，其包含：一基准导电板，其具有一第一基准面及一第二基准面；一第一电容位移感测器，可活动且相对该第一基准面；一第二电容位移感测器，可移动且相对该第二基准面；其中该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该第一基准面及该第二基准面取得一基准讯号，且该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该待测量物的表面取得一测量讯号。2.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一第一间距形成在该第一电容位移感测器与该第一基准面之间，以及一第二间距形成在该第二电容位移感测器与该第二基准面之间，该待测量物通过该第一间距及该第二间距。3.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，其中该基准导电板的第一基准面与第二基准面系相对。4.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一轨道，及一滑座可移动地组设在该轨道，其中该轨道平行该导电板，该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器相对地组设在该滑座上。5.根据权利要求1所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一基准滚轮位在该基准导电板一端，该基准滚轮的直径大于第一基准面与该第二基准面之间距。6.一种双电容非接触式厚度测量系统，用以测量一待测量物的厚度，其特征在于，其包含：一基准导电板，其具有一第一基准面及一第二基准面；一滑座，可活动地位在该基准导电板一端；一第一电容位移感测器，组设在该滑座上且相对该第一基准面；一第二电容位移感测器，组设在该滑座上且相对该第二基准面及该第一电容位移感测器；一第一间距，形成在该第一电容位移感测器与该第一基准面之间；一第二间距，形成在该第二电容位移感测器与该第二基准面之间；一基准滚轮，位在该基准导电板一端，其直径大于该第一基准面与该第二基准面间的距离；其中该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该第一基准面及该第二基准面取得一基准讯号，且该第一电容位移感测器与该第二电容位移感测器分别自该待测量物的表面取得一测量讯号。7.根据权利要求6所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，其中该基准导电板的第一基准面与第二基准面相对。8.根据权利要求6所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含二辅助滚轮，其分别位在基准导电板二侧，且该待测量物绕置在该基准滚轮及各该辅助滚轮的表面。9.根据权利要求6所述的双电容非接触式厚度测量系统，其特征在于，更包含一轨道，该轨道平行该基准导电板，且该滑座可移动地组设在该轨道。2CCNN110210931802109321A说明书1/4页双电容非接触式厚度测量系统技术领域[0001]本发明涉及一种非接触式厚度测量系统，特别是以双电容位移感测器搭配一组滚轮组及一导电基板且用以测量一移动的薄膜或板材的非接触式厚度测量系统。背景技术[0002]传统的厚度测量方法是以接触式测量工具夹合于一待测量物的厚度方向，借此获得待测量物的厚度读数，例如游标卡尺或螺旋测微器皆为此类所描述的接触式测量工具。然而接触式测量工具因为会压靠着待测量物的表面，因此不适用于测量软性或具有弹性表面的待测量物。然而非接触式厚度测量装置或系统可以解决上述测量工具(装置)与待测量物因接触而导致测量不准的问题。[0003]请参阅图1所示，已知的非接触式厚度测量系统包含一基准滚轮11及一组涡电流-电容位移感测器12所构成。当控制讯号输