外环从动旋转齿轮泵.pdf
淑然****by
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外环从动旋转齿轮泵.pdf
本发明涉及外环从动旋转齿轮泵。具体地,一种旋转齿轮泵包括内环和外环。所述内环能绕轴线旋转,其中,所述内环具有外径接触表面。所述外环具有内径接触表面,所述内径接触表面限定中心开口。所述中心开口接收所述内环,所述内径接触表面的一部分接合所述内环的所述外径接触表面的一部分。包括了马达,其包括转子和围绕所述转子的定子。所述转子围绕所述外环并且在所述外环上施加驱动力,使得所述外环绕所述内环旋转。所述外环的所述内径接触表面和所述内环的所述外径接触表面产生多个室。所述内环和所述外环之间的旋转使所述室扩张和收缩以从所述旋
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高压双向旋转齿轮泵.pdf
本发明涉及一种高压双向旋转齿轮泵,包括主动齿轮轴、前盖、轴封、螺堵、侧板组件、后泵体、单向阀与从动齿轮轴。在所述前盖上安装有螺堵与单向阀,前盖与后泵体通过紧固件固定,在后泵体中装配有主动齿轮轴与从动齿轮轴,主动齿轮轴与从动齿轮轴通过齿轮相互啮合,在主动齿轮轴上安装有轴封,所述侧板组件安装在主动齿轮轴和从动齿轮轴齿轮段的左右两侧,在前盖的安装端面上开设有安装凹槽,在后泵体的安装端面上设有安装凸棱,安装凸棱与安装凹槽呈过盈配合。本发明有效地解决了仅靠定位销定位时的强度不足引起变形的问题,从而可以提高泵的压力,
旋转外环粘贴保护装置.pdf
本发明涉及半导体设备领域中对晶圆进行喷敷药液的设备,具体地说是一种旋转外环粘贴保护装置。所述装置设置于热盘外围旋转外环的上表面上,对旋转外环的上表面起保护作用。所述装置为硅胶垫,所述硅胶垫的背面设有附着胶、并通过附着胶粘贴在旋转外环的上表面上。本发明在晶圆进行相应的制程时,化学药剂残留在旋转外环上表面的硅胶垫上,当需要清洗时,只需将这一层硅胶垫从旋转外环的上表面上揭去,然后再粘贴上一层新的硅胶垫后重新安装在设备上,就可以再次进行相应的制程,方便快捷。
旋转滚床用从动轮组件.pdf
本发明涉及一种旋转滚床用从动轮组件,包括中心回转轨道总成和旋转框架机构;中心回转轨道总成包括环形轨道和回转底座;环形轨道和回转底座同心布置;回转底座上同心布置有回转中心轴承座;旋转框架机构可自转的滚动连接于中心回转轨道总成上;旋转框架机构包括旋转安装架;旋转安装架的两侧焊接滚轮安装板;滚轮安装板上安装支架;支架上开设导向槽;从动轮组件和主动轮组件均安装在支架上;从动轮组件通过调心轴承安装在旋转安装架上;旋转安装架通过销轴安装在回转底座上;导向轴安装在旋转安装架上,导向轴在导向槽内滑动。本发明用于解决旋转滚