半导体材料晶体生长.ppt
YY****。。
亲,该文档总共71页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
半导体材料晶体生长.ppt
半导体材料第三章晶体生长晶体生长理论基础天然晶体的生长2.由液相转变为固相:1.从熔体中结晶,即熔体过冷却时发生结晶现象,出现晶体;2.从溶液中结晶,即溶液达到过饱和时,析出晶体;3.水分蒸发,如天然盐湖卤水蒸发,盐类矿物结晶出来;通过化学反应生成难溶物质。3.由固相变为固相:3.由固相变为固相:晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件概括来说,气-固相变过程时,要析出晶体,要求有一定的过饱和蒸气压。液-固相变过程时,要析出晶体,要求有一定的过饱和度。固-固相变过程时,要析出晶体,要求
半导体材料晶体生长通用.ppt
半导体材料第三章晶体生长晶体生长理论基础天然晶体的生长2.由液相转变为固相:1.从熔体中结晶,即熔体过冷却时发生结晶现象,出现晶体;2.从溶液中结晶,即溶液达到过饱和时,析出晶体;3.水分蒸发,如天然盐湖卤水蒸发,盐类矿物结晶出来;通过化学反应生成难溶物质。3.由固相变为固相:3.由固相变为固相:晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件概括来说,气-固相变过程时,要析出晶体,要求有一定的过饱和蒸气压。液-固相变过程时,要析出晶体,要求有一定的过饱和度。固-固相变过程时,要析出晶体,要求
半导体材料第4讲-晶体生长.pptx
半导体材料第三章晶体生长晶体生长理论基础天然晶体的生长2.由液相转变为固相:1.从熔体中结晶,即熔体过冷却时发生结晶现象,出现晶体;2.从溶液中结晶,即溶液达到过饱和时,析出晶体;3.水分蒸发,如天然盐湖卤水蒸发,盐类矿物结晶出来;通过化学反应生成难溶物质。3.由固相变为固相:3.由固相变为固相:晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件概括来说,气-固相变过程时,要析出晶体,要求有一定的过饱和蒸气压。液-固相变过程时,要析出晶体,要求有一定的过饱和度。固-固相变过程时,要析出晶体,要求
半导体材料第4讲--晶体生长.pptx
半导体材料第三章晶体生长晶体生长理论基础天然晶体的生长2.由液相转变为固相:1.从熔体中结晶即熔体过冷却时发生结晶现象出现晶体;2.从溶液中结晶即溶液达到过饱和时析出晶体;3.水分蒸发如天然盐湖卤水蒸发盐类矿物结晶出来;通过化学反应生成难溶物质。3.由固相变为固相:3.由固相变为固相:晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件晶体形成的热力学条件概括来说气-固相变过程时要析出晶体要求有一定的过饱和蒸气压。液-固相变过程时要析出晶体要求有一定的过饱和度。固-固相变过程时要析出晶体要求有一定的过冷度。
半导体材料与工艺之晶体生长原理.ppt
12(2)液相生长:伴随在液-固相变过程中的结晶过程包括从溶液中生长晶体(通常是薄层)的液相外延过程和从熔体中生长晶体的正常凝固过程和区域熔炼过程。例如。GaAs衬底上的GaAlAs液相外延和用直拉法生长硅单晶等。(3)气相生长:伴随在气-固相变过程中的结晶过程包括晶体薄膜的气相外延生长过程和利用升华法生长难熔晶体的过程。例如SiH4生长硅薄膜的外延过程和碳化硅块状晶体的生长过程等。45678液相生长(从熔体中生长)液相生长(从熔体中生长)液相生长(从熔体中生长)气相生长气相生长气相生长从溶液中生长从溶