工件夹具、刷子用毛材、刷子以及工件夹具和刷子用毛材的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102387894A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102387894A(43)申请公布日2012.03.21(21)申请号201080016017.6(51)Int.Cl.(22)申请日2010.04.12B24B37/27(2012.01)B24B37/11(2012.01)(30)优先权数据A46D1/00(2006.01)2009-0975142009.04.13JP2009-1052012009.04.23JP(85)PCT申请进入国家阶段日2011.10.09(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2010/0565482010.04.12(87)PCT申请的公布数据WO2010/119847JA2010.10.21(71)申请人株式会社有恒商会地址日本东京(72)发明人小出俊彦(74)专利代理机构北京市浩天知识产权代理事务所11276代理人雒纯丹权利要求书1页说明书12页附图9页(54)发明名称工件夹具、刷子用毛材、刷子以及工件夹具和刷子用毛材的制造方法(57)摘要工件夹具(1)呈圆板状，外周形成了齿轮(11)，同时还贯穿了3个工件保持用孔(12)，具有将浸渍了环氧树脂的平纹织物(13)进行多层层合的结构。平纹织物(13)是由聚醚醚酮树脂成型的单丝以网状织入而构成的，具有规定尺寸的间隙(S)。作为间隙(S)，其尺寸被设计为在使环氧树脂对平纹织物(13)浸渍时，能够通过环氧树脂的表面张力保持住该环氧树脂的尺寸。CN10238794ACCNN110238789402387907A权利要求书1/1页1.工件夹具，其特征在于，其为通过使工件在被夹持于上下台面之间的状态下相对于前述台面进行相对移动，从而使保持在工件保持用孔中的工件压合在前述上下台面上而研磨的工件夹具，该工件夹具具有将浸渍了环氧树脂的平纹织物进行多层层合的结构，且前述平纹织物由聚醚醚酮树脂构成。2.如权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，前述平纹织物是通过以网状织入前述聚醚醚酮树脂而构成的。3.工件夹具的制造方法，其特征在于，其为通过使工件在被夹持于上下台面之间的状态下相对于前述台面进行相对移动，从而使保持在工件保持用孔中的工件压合在前述上下台面上而研磨的工件夹具的制造方法，该制造方法具有下述工序：对由聚醚醚酮树脂构成的平纹织物浸渍环氧树脂的工序、将前述浸渍了环氧树脂的平纹织物进行多层层合的工序、对前述层合的多层平纹织物沿其层合方向进行加压同时进行加热的工序和将进行了前述加压及加热的多层平纹织物冲压加工成所希望形状的工序。4.如权利要求3所述的工件夹具的制造方法，其特征在于，前述平纹织物是通过以网状织入前述聚醚醚酮树脂而构成的。5.刷子用毛材，其特征在于，其为对工件表面进行研磨的刷子所使用的刷子用毛剂，其由聚醚醚酮树脂形成。6.如权利要求5所述的刷子用毛材，其特征在于，前述聚醚醚酮树脂是结晶性树脂。7.如权利要求5所述的刷子用毛材，其特征在于，前述聚醚醚酮树脂是非结晶性树脂。8.刷子，其特征在于，使用权利要求5至7中任一项所述的刷子用毛材。9.刷子用毛材的制造方法，其特征在于，其为制造对工件表面进行研磨的刷子所使用的刷子用毛材的方法，该制造方法具有下述工序：将聚醚醚酮树脂投放到挤出模具内的树脂投放工序、对投放到前述挤出模具内的前述聚醚醚酮树脂进行加热熔融的加热熔融工序、从挤出模具的排出口挤出处于熔融状态的前述聚醚醚酮树脂的挤出工序和使从前述排出口挤出的前述聚醚醚酮树脂冷却的冷却工序。10.如权利要求9所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述冷却工序之后，还具有对于前述聚醚醚酮树脂一边进行再加热一边进行强制拉伸的拉伸工序。11.如权利要求10所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述拉伸工序中，前述聚醚醚酮树脂的拉伸倍率设定为3倍以下。12.如权利要求9至11中任一项所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述树脂投放工序中，将非结晶性聚醚醚酮树脂投放到前述挤出模具内。13.如权利要求9至11中任一项所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述树脂投放工序中，将结晶性聚醚醚酮树脂投放到前述挤出模具内。2CCNN110238789402387907A说明书1/12页工件夹具、刷子用毛材、刷子以及工件夹具和刷子用毛材的制造方法技术领域[0001]本发明涉及安装于研磨装置上、保持硅晶片、铝盘、水晶振子等被研磨工件的工件夹具。另外还涉及该工件夹具的制造方法。另外，还涉及安装于研磨装置上、对被研磨工件进行研磨的刷子用毛材及该毛材的制造方法，以及使用该毛材的刷子。背景技术[0002]对各种工件进行研磨加工的研磨装置具备保持被研磨工件的工件夹具和紧靠被研磨工件对该被研磨工件进行研磨的研磨工具。[0003]以