传送装置及系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102452559102452559B(45)授权公告日2015.01.14(21)申请号201010523079.8CN101502962A,2009.08.12,JP2008135630A,2008.06.12,(22)申请日2010.10.22CN101454888A,2009.06.10,(73)专利权人北京北方微电子基地设备工艺研审查员欧冠男究中心有限责任公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层(72)发明人周卫国(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人张天舒陈源(51)Int.Cl.B65G49/07(2006.01)B65G47/90(2006.01)(56)对比文件CN2912932Y,2007.06.20,权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图2页附图2页(54)发明名称传送装置及系统(57)摘要本发明提供一种传送装置及系统，其中，传送装置包括机械臂、第一驱动装置、摩擦轮和转动带；所述第一驱动装置的转动轴上固定有摩擦轮，所述摩擦轮通过与所述转动带之间的摩擦力带动所述转动带运动，所述转动带与所述机械臂固定连接。本发明通过驱动摩擦轮带动转动带运动来驱动机械臂进行往复运动，不仅使机械臂的逻辑控制优化简单，而且摩擦轮和转动带之间具有零间隙和重复性能好的特点，更容易精确地控制机械臂的位置及其运动轨迹，当机械臂在取或放晶片时，机械臂、摩擦轮、张力轮和导向轮等部件所受的外力变化不明显，使传送装置具有维护时间间隔长、使用寿命长的优点。CN102452559BCN102459BCN102452559B权利要求书1/1页1.一种传送装置，其特征在于，包括：机械臂、第一驱动装置、摩擦轮、转动带和支架；所述第一驱动装置的转动轴上固定有摩擦轮，所述摩擦轮通过与所述转动带之间的摩擦力带动所述转动带运动，并且所述摩擦轮和所述转动带采用一种材料构成，所述转动带与所述机械臂固定连接；所述支架为直角的L型支架，所述支架上设置有用于机械臂滑动的导轨，所述机械臂套接在所述导轨上并沿着所述导轨运动，在所述支架上安装有两组张力轮，所述两组张力轮设置在所述摩擦轮的两侧且与所述摩擦轮不相接触，所述两组张力轮用于将所述转动带按压在所述摩擦轮上，通过调整张力轮的中心位置以调整摩擦轮与转动带之间的压力。2.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述机械臂包括支撑件、延长件和承托件，所述延长件的一端与所述承托件固定连接，另一端与所述支撑件固定连接，所述支撑件滑设在所述导轨上。3.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述支架上固定有套设在所述摩擦轮和所述转动带的防护罩，该防护罩用于阻挡所述摩擦轮和所述转动带摩擦产生的颗粒飞溅。4.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，在所述支架的两端分别安装有一组导向轮，所述转动带绕设在两组所述导向轮上以进行循环运动。5.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置分别与所述支架和第一驱动装置固定连接，用于带动所述支架和第一驱动装置转动。6.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述摩擦轮与所述转动带的表面均经过抛光处理，以提高光滑度。7.根据权利要求5所述的传送装置，其特征在于还包括：升降装置，所述升降装置用于升起或降下所述第二驱动装置。8.一种传送系统，其特征在于，包括工艺腔室和权利要求1-7任意一项所述的传送装置；所述传送装置的机械臂用于取放晶片；所述工艺腔室中设置有放置晶片的工艺平台。9.根据权利要求8所述的传送系统，其特征在于，所述传送装置的数量为两个，其中一个用于将晶片放置到所述工艺腔室，另一个传送装置用于从所述工艺腔室中取出晶片。2CN102452559B说明书1/4页传送装置及系统技术领域[0001]本发明涉及半导体制造的技术，具体地，涉及一种传送装置及系统。[0002]背景技术[0003]在半导体、液晶或LED等制造行业中，需要能够在大气或者真空环境中在精确地取放晶片的自动化传送装置，该传送装置通常包括机械臂和驱动装置。[0004]图1为现有的传送装置中的机械臂的结构示意图。如图1所示，传送装置的机械臂的结构一般采用Scara(SelectiveComplianceAssemblyRobotArm，选择性柔顺装配机器人手臂)连杆方式，上述的连杆方式通常为悬臂梁结构，机械臂的各个连杆之间通过轴承连接，机械臂内部安装同步带实现旋转和伸缩。由于该机械臂其前端逻辑控制优化的难度较大、且在取放晶片时各个连杆和轴承的受力变化比较大、受力情况也比较复杂，因此导致了传送装置往复运动的性能差、使得传送装置维护时间周期短和寿命较短