单晶硅设备工艺流程.ppt
赫赫****等你
亲,该文档总共53页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
单晶硅设备工艺流程.ppt
单晶硅设备培训目录1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升,埚升介绍10.加热部分3.单晶硅料烘干:去除水分。6.单晶炉拉晶:7.硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。10.磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。线切割原理:12.清洗:13.单晶硅片检测:1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升,埚升介绍10.加热部分目录目录单晶炉
(完整PPT)单晶硅设备工艺流程.ppt
单晶硅设备培训目录1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升,埚升介绍10.加热部分3.单晶硅料烘干:去除水分。6.单晶炉拉晶:7.硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。10.磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。线切割原理:12.清洗:13.单晶硅片检测:1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升,埚升介绍10.加热部分目录目录单晶炉
单晶硅电池工艺流程.ppt
单晶硅电池工艺流程绒面的制备绒面的制备绒面的制备化学清洗化学清洗扩散制结三氯氧磷液态源扩散三氯氧磷液态源扩散各种扩散方法的比较去磷硅玻璃去磷硅玻璃去边去除背结制备减反射膜丝网印刷和烧结丝网印刷和烧结
单晶硅电池工艺流程.ppt
单晶硅电池工艺流程绒面的制备绒面的制备绒面的制备化学清洗化学清洗扩散制结三氯氧磷液态源扩散三氯氧磷液态源扩散各种扩散方法的比较去磷硅玻璃去磷硅玻璃去边去除背结制备减反射膜丝网印刷和烧结丝网印刷和烧结
单晶硅片制作工艺流程.doc
单晶硅电磁片生产工艺流程1、硅片切割,材料准备:工业制作硅电池所用的单晶硅材料,一般采用坩锅直拉法制的太阳级单晶硅棒,原始的形状为圆柱形,然后切割成方形硅片(或多晶方形硅片),硅片的边长一般为10~15cm,厚度约200~350um,电阻率约1Ω。cm的p型(掺硼)。2、去除损伤层:硅片在切割过程会产生大量的表面缺陷,这就会产生两个问题,首先表面的质量较差,另外这些表面缺陷会在电池制造过程中导致碎片增多。因此要将切割损伤层去除,一般采用碱或酸腐蚀,腐蚀的厚度约10um.3、制绒:制绒,就是把相对光滑的原材