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单晶硅设备培训目录1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分3.单晶硅料烘干:去除水分。6.单晶炉拉晶:7.硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。10.磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。线切割原理:12.清洗:13.单晶硅片检测:1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分目录目录单晶炉种类:目录 炉盖:主室内部:详细介绍:4.石墨件取出冷却:升炉盖,取出导流罩,保温盖。石英坩埚等放在指定位置。 7.单晶炉室清洗:12.冲氩气,升功率,融料:打开主室阀,打开氩气流量阀,使氩气流量在20-30L/min, 使炉内压力在1000—1500帕。功率每0.5小时加一次。目录晶升,晶转:SL控制示意图:晶升伺服电机:目录直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保 持在一定温度下进行的整个系统。 热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚 托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托 杆、都设置了保护板、保护套。 加热器是热场中很重要的部件,是直接的发热体,温度最高的时候可以达到1600℃以上。 常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。目前绝大多数加热器为筒状,硅单晶厂房使用的是直筒式形状的加热器。右图为加热器。坩埚托杆、坩埚托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢固,对中性良好,在下轴转动时,托杆及托盘的偏摆度≤0.5mm。 支撑体的高度是可以调节的,这样可以保证熔料时,坩埚有合适的低埚位,而拉晶时,有足够的埚跟随动行程。压环,由几截弧形环构成的一个圆形环状石墨件,它放置在盖板与炉壁接触处,是为了防止热量和气体从炉壁与盖板的缝隙间通过。 右上图是压环,右下图为安装后的效果图。 ②加热器与石墨坩埚的对中:转动托碗,调整埚位,让石墨坩埚与加热器口水平(此时的埚位成为平口埚位),再稍许移动加热器电极,与托碗对中,这时石墨坩埚和加热器口之间的间隙四周都一致。 煅烧 新的热场需要在真空下煅烧,煅烧时间约10小时左右,煅烧3~5次,方能投入使用。使用后,每拉晶4~8炉后也要煅烧一次。 煅烧功率,不同的热场不一样,一般要比引晶温度高,炉子煅烧最高功率一般在110KW。