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____________________________________________________________________________http://www.paper.edu.cn 国外引信技术的发展与我们的对策 张河,李豪杰 (南京理工大学机电工程学院,南京210094) 摘要:本文结合传感器技术的发展以及对引信技术的推动,对固态传感器、光传感器、 磁传感器、陀螺传感器、MEMS传感器的发展进行了论述,说明了武器系统的发展与传感器的 关系,在此基础上,根据国外正在开展的武器系统的研究,以及在近期开展的引信关键技术 研究,详细的分析和介绍了MEMS技术、磁探测技术、硬目标侵彻可编程技术、激光技术在引 信中的应用,第二环境力在非旋弹引信中的应用、GPS与IMU技术在引信中的应用及多选择 技术的发展、感应装定技术的发展等。介绍了以美国为首的北约集团在近期的引信技术的发 展。特别是美国对引信项目的管理结构、生产程序、发展计划,在分析跟踪的基础上对我国 引信科研及管理体制提出了一些设想。在跟踪研究的基础上,提出了在我国现有的生产制造 条件下,应如何开展MEMS工作和今后的对策和研究设想。 0引言 引信技术的发展与传感器技术的发展密不可分,传感器技术的新成果将首先引入到引 信中,本文首先介绍传感器技术的发展。 1现代传感器的发展 1.1定义 中文的传感器来源于英文“Sensor”、“Transducer”,翻译而成的大意是:通过感应或 感觉传递,反映外部信息的一种器件或装置,如gauge量规、压力计、仪表等。也可以说它是 把一种信号形式变换成另一种信号形式以实现信号检测的器件。在工业、军事领域实际应用 中,特别是在机电系统、机器人、引信技术中,主要涉及的是:外界的目标、环境信息→物理 信息量→电量。从结构上传感器可分为:结构型、物性型和智能型。 七十年代之前,主要研究对象是结构性。如:电阻式传感器R∝L/S,电容式传感器C ∝s/d,电感式传感器L∝dRm/Rm。七十年代之后,半导体技术的高速发展,推动了物性型传 感器的飞速发展。它是利用材料的物理特性或固体元件的参数的变化而制成。如:固态传感 器和集成传感器。智能型即具有自补偿、自修正(自适应控制)、自校准功能的传感器。如: 微型智能传感器,采用MEMS技术制造(MicroElectroMechanicalSystem)。 1.2固态传感器的发展 根据被测量光(辐射)、磁、力、热、化学量转化为电量分类,固态传感器在五种被测 量方面目前发展成型的有: z压阻式和电容式 原理─压阻效应.F∝∆R/R(应力敏感型)和C∝s/d。 结构─圆形,膜,平模(硅膜)方形。 发展方向─a:抗失调,自调零位,温漂补偿,集成化; b:放大电路,混合集成; c:频率输出集成。 现有型号:压力式,压阻加速度式,电容集成式 例如:Honeyewell.120pcNSLX370013800,0.5%.nationalSewiconductor1400 z温度式 原理─根据晶体二极管正向电流ID与上压降VD关系: 1 中国科技论文在线___________________________________________________________________________http://www.paper.edu.cn d−1 qVD/KTVD ID=ISe→α dTT 结构─半导体晶体二极管,三极管。 发展方向—电流型,电压型集成,温度补偿,放大集成。 现有型号:AD590.(-55º~+145º,±1%)。。 z压力,温度双变量式 原理—半导体材料:f(P,T)→f(P),f(T)分离。 结构—两组电桥{电桥+温度补偿电桥}集成放大自修正、热敏半导体器件。 z色敏式 原理—二个结深不同的光电二极管的光电效应:光电流∝波长。 结构—P─n─P二个二极管。 发展方向—色敏器件与放大电路集成,测量范围宽。 z气敏式 两类:环境气体的敏感,溶液中的离子敏感(种类,浓度)。 原理—电阻式:利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化.非电 阻式:Mos二极管的电容,电压特性的变化,MOSFET(场效应管)的阈值电压的变化。 结构—烧结型、波模型、原模型、(200~400º)加热器。 发展方向—提高重复性,提高一致性。 z湿敏式 原理—水分子中的氢原子具有很强的正电场,当水在半导体表面吸附时,俘获电子,表 面带负电,P型半导体,表面电势下降,吸到空穴到达表面,电阻下降─负特性温敏半导体的 导电原理. 结构—:a:半导体陶瓷元件.MOS型元件 b:半导体集成电容元件 发展方向—提高重复性,提高一致性。 1.3光传感器的发展 z光敏性 原理—外光电效应;电子逸出物体