集成电路用钛靶材和铜铬合金背板扩散焊接技术研究.docx
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集成电路用钛靶材和铜铬合金背板扩散焊接技术研究.docx
集成电路用钛靶材和铜铬合金背板扩散焊接技术研究标题:集成电路用钛靶材和铜铬合金背板扩散焊接技术研究摘要:本论文通过系统的研究和分析,探索了集成电路用钛靶材和铜铬合金背板扩散焊接技术。首先,介绍了扩散焊接原理和钛靶材和铜铬合金背板特性;接着,详细阐述了焊接工艺和焊接过程的参数选择;最后,对焊接效果和性能进行了评估和分析。研究结果表明,钛靶材和铜铬合金背板扩散焊接技术具有较高的焊接质量和稳定性,在集成电路封装领域具有广阔的应用前景。关键词:集成电路;扩散焊接;钛靶材;铜铬合金背板1.引言集成电路是现代电子学的
一种大尺寸钛靶材与铜背板的扩散焊接方法.pdf
本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种大尺寸钛靶材与铜背板的扩散焊接方法。所述靶材为大尺寸钛靶材,背板为铜合金背板,通过热压扩散的方法进行焊接。包括如下步骤:对大尺寸钛靶材、铜合金背板机械加工、酸洗、装配放入热压炉中,进行扩散焊接,最终整体弯曲变形量<3mm,焊接面的焊接强度≥55MPa。通过利用热压模具长时间高压保持至室温,保持2~5℃/min降温速率缓慢降温,降低异种材料焊接变形及残余应力。
高纯稀土钇靶材和铜合金背板扩散焊接技术研究.docx
高纯稀土钇靶材和铜合金背板扩散焊接技术研究高纯稀土钇靶材和铜合金背板扩散焊接技术研究摘要随着高科技行业的快速发展和对原材料品质的要求日益提高,高纯稀土钇靶材作为一种关键的材料,在光电子、建筑材料、工业催化剂等领域发挥着重要作用。然而,传统的焊接技术难以满足高纯稀土钇靶材与铜合金背板之间的焊接要求。因此,本论文通过对高纯稀土钇靶材和铜合金背板扩散焊接技术进行研究,旨在提供高效、可靠的扩散焊接工艺。关键词:高纯稀土钇靶材,铜合金背板,扩散焊接技术1.引言高纯稀土钇靶材是一种重要的功能材料,广泛应用于光电子、建
铜背板与靶材的焊接方法.pdf
本发明提供一种铜背板与靶材的焊接方法,包括以下步骤:将铜背板、靶材放入包套中,包套设有通气管;将包套放入炉中,通过通气管对包套进行抽真空;待包套内部达到一定真空度后,使炉的温度升高到一定温度,并使炉持续保温一段时间,在炉的保温期间,依然对包套进行抽真空;密封包套的通气管;对内部设置有铜背板、靶材的包套进行热等静压焊接以使铜背板与靶材焊接在一起。在对包套进行抽真空的过程中,使包套持续置于高温环境中以使包套内部的液态水或其它液体形成蒸汽并可被抽走,从而使包套内部形成真正的真空环境,从而获得焊接强度及成品率较高
集成电路用Ti靶材和Cu62Zn38合金背板焊接技术研究.docx
集成电路用Ti靶材和Cu62Zn38合金背板焊接技术研究近年来,随着信息技术的快速发展,集成电路在国民经济和社会发展中扮演着越来越重要的角色。为了提高集成电路的质量和性能,需要使用高质量的靶材和背板来制造集成电路。本文针对集成电路用Ti靶材和Cu62Zn38合金背板焊接技术进行研究,旨在探索一种能够提高集成电路质量和性能的新方法。首先,介绍了Ti靶材和Cu62Zn38合金背板的特性和优势。Ti靶材是一种高纯度的金属材料,具有高功率密度、高致密性、出色的膜形成特性和可靠的性能等优点。Cu62Zn38合金背板