输送装置及具有该输送装置的处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103074591A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103074591103074591A(43)申请公布日2013.05.01(21)申请号201210411959.5(22)申请日2012.10.25(30)优先权数据2011-2341062011.10.25JP(71)申请人佳能安内华股份有限公司地址日本神奈川(72)发明人西村健一冈本直之户谷宽行(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038代理人王诣然(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)F16H19/04(2006.01)F16H55/26(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书6页说明书6页附图5页附图5页(54)发明名称输送装置及具有该输送装置的处理装置(57)摘要本发明提供一种输送装置，其具有：齿条、第一小齿轮、以及第二小齿轮；该齿条设置在能够进退移动的托架，在任何部分齿顶的形状都相同；该第一小齿轮与所述齿条啮合；该第二小齿轮在与所述第一小齿轮相比更靠所述托架的前进方向侧的位置与所述齿条啮合，所述齿条，形成为当所述第一小齿轮在所述齿条的中央部分啮合，所述第二小齿轮在所述齿条的端部分啮合时，所述齿条与所述第一小齿轮的齿隙比所述齿条与所述第二小齿轮的齿隙小。CN103074591ACN1037459ACN103074591A权利要求书1/1页1.一种输送装置，具有：齿条、第一小齿轮、以及第二小齿轮；该齿条设置在能够进退移动的托架，在任何部分齿顶的形状都相同；该第一小齿轮与所述齿条啮合；该第二小齿轮在与所述第一小齿轮相比更靠所述托架的前进方向侧的位置与所述齿条啮合；其特征在于：所述齿条，形成为当所述第一小齿轮在所述齿条的中央部分啮合，所述第二小齿轮在所述齿条的端部分啮合时，所述齿条与所述第一小齿轮的齿隙比所述齿条与所述第二小齿轮的齿隙小。2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于：所述中央部分的高度比所述端部分的高度更高。3.根据权利要求1或2所述的输送装置，其特征在于：当所述托架在第一方向被输送，所述第二小齿轮在所述齿条的2个端部分的一方啮合时，所述第一小齿轮在所述齿条的中央部分啮合；当所述托架在第一方向的相反方向被输送，所述第一小齿轮在所述齿条的所述2个端部分的另一方啮合时，所述第二小齿轮在所述齿条的中央部分啮合。4.一种真空处理装置，具有多个腔室和在权利要求1中记载的输送装置，该多个腔室经闸阀连接，其特征在于：所述第一小齿轮和所述第二小齿轮配置在所述多个腔室中的相互不同的腔室中。2CN103074591A说明书1/6页输送装置及具有该输送装置的处理装置技术领域[0001]本发明涉及输送装置及具有该输送装置的处理装置。背景技术[0002]作为在真空容器内输送基板的基板输送装置，已知具有齿条和小齿轮机构的基板输送装置。齿条和小齿轮机构是将小齿轮的旋转动作变换成齿条的直线动作的机构，组合小齿轮和齿条而构成。[0003]例如，在直线型溅射装置（インラインスパッタ）等真空处理装置中，保持基板的基板托盘，由带齿条的托架穿过真空室进行输送。在这里，通过了真空室的托架需要被转移至下一真空室。在基板托盘上固定齿条，在各真空室中设有小齿轮，通过对与齿条啮合了的小齿轮进行旋转驱动，托架被输送。通过了真空室的托架，被转移至下一真空室的小齿轮。[0004]图5表示以往的输送装置的一例，是从真空装置的输送方向的侧方观看的输送装置的示意图。在图5中，为了简化，仅记载了托架102、被固定在托架102上的齿条107、以及小齿轮105。输送装置是保持被输送物，由齿条和小齿轮机构输送托架102的装置。在真空室的底面中央部，铺设有规定托架102的输送方向的输送轨道。在托架102的底面设有2列齿条107，在输送轨道侧在多个部位设有与托架102的齿条107的各个啮合的小齿轮105。[0005]具有齿条107和小齿轮105的以往的输送装置存在以下的课题。[0006]即，在真空处理装置的真空室之间，当从现工序的真空室的小齿轮105向下一工序的真空室的小齿轮105转移齿条107而啮合时，存在齿条107与小齿轮105的齿顶彼此冲撞的危险。[0007]图6为表示以往的齿条107与小齿轮105的啮合关系的示意图。另外，各个的齿顶由符号42、41表示，移动方向分别由符号38、39表示。若齿顶41、42彼此发生冲撞，则有时作用负荷，成为驱动机构的停止的原因。另外，若齿条107的齿顶42来到小齿轮105的齿顶41上，则存在因返回到正常的啮合时的冲撞、冲击，导致由基板的破损、产生灰尘所引起的产品不合格的问题。[0008]因此，为了解决这样的问题，提出设有单向离合机构的技术、使小齿轮在与小齿轮轴垂