多线锯切割机的砂浆分流阀.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103075542A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103075542103075542A(43)申请公布日2013.05.01(21)申请号201210581876.0(22)申请日2012.12.28(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号(72)发明人种宝春(74)专利代理机构北京中建联合知识产权代理事务所11004代理人朱丽岩刘湘舟(51)Int.Cl.F16K11/08(2006.01)F16K31/53(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图3页附图3页(54)发明名称多线锯切割机的砂浆分流阀(57)摘要一种多线锯切割机的砂浆分流阀，包括一个腔体，腔体连接具有砂浆入口且二者中心形成砂浆分配腔的上盖。腔体有两个砂浆出口，中心设有转轴。转轴上部为一个大偏心体，下部连接蜗轮蜗杆副，中部连接大轴承。蜗轮通过底端小轴承固定在转轴上。蜗轮与大轴承之间的转轴上套接有张力弹簧。蜗杆与电机连接。固定座安装有大偏心体的位置传感器。大偏心体由斜向导流面、侧壁垂直面、砂浆出口遮挡面以及底面形成。电机转动转轴，大偏心体可旋转选择砂浆出口。本发明保证了砂浆流量的一致性，降低了砂浆泵的功率。它应用于半导体行业多线切割机中对砂浆的分流，也可应用到其它高粘度、高密度的流体分流的行业。CN103075542ACN1037542ACN103075542A权利要求书1/1页1.一种多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述砂浆分流阀包括有一个腔体（1），所述腔体（1）上部通过螺钉（4）连接一个中心具有砂浆入口（3）的上盖（2），所述上盖（2）与所述腔体（1）之间形成有砂浆分配腔，所述腔体（1）的砂浆分配腔处环形向外均布设有至少两个砂浆出口（9、24），所述腔体（1）中心设有一个轴孔，所述轴孔上面设有环形槽，环形槽内安装带有凸凹结构的密封垫（7），所述轴孔下面设有轴承安装孔，轴承安装孔内通过螺钉（22）、压盖（23）固定有大轴承（8），所述腔体（1）的轴孔以及大轴承（8）的内孔上置有一个转轴（6），所述转轴（6）处在所述密封垫（7）上面的部分为一个大偏心体，所述转轴（6）的下部通过键（18）连接一个蜗轮（19），所述转轴（6）的底端通过转轴螺钉（16）以及压垫（15）固定一个小轴承（14），所述蜗轮（19）通过小轴承（14）及垫圈（13）固定在所述转轴（6）上，所述蜗轮（19）与所述大轴承（8）的压盖（23）之间的所述转轴（6）上套接有一个张力弹簧（20），所述蜗轮（19）的轮齿啮合一个蜗杆（12），所述腔体（1）的下部通过螺钉（10、21）固定有固定座（17），所述蜗轮（19）处在所述固定座（17）的内部中心，所述固定座（17）的底部设有一个中心凹槽，所述转轴（6）上的小轴承（14）固定在所述中心凹槽中，所述蜗杆（12）通过限位垫圈（31）以及轴承（30、32）安装在蜗杆座（11）上，所述蜗杆（12）通过联轴节（26）和键（29）与电机（27）连接，所述蜗杆座（11）通过固定板（33）、电机（27）通过支座（28）均固定在所述固定座（17）上，所述固定座（17）的底部安装有所述大偏心体的位置传感器（25）。2.根据权利要求1所述的多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述转轴（6）上的大偏心体由上表面的斜向导流面（34）、侧壁垂直面、砂浆出口遮挡面（36）以及带有密封槽的底面（35）形成，所述转轴（6）在所述腔体（1）上具有一个垂直的往返转动轨迹。3.根据权利要求1或2所述的多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述斜向导流面（34）与所述砂浆出口（9）或者另一砂浆出口（24）呈敞口导流工作配合副，所述砂浆出口遮挡面（36）与所述砂浆出口（9）或者另一砂浆出口（24）呈遮挡封严工作配合副，所述带密封槽的底面（35）与所述密封垫（7）呈密封工作配合副，所述位置传感器（25）与所述蜗轮（19）呈互为感应工作配合副。4.根据权利要求3所述的多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述大偏心体的侧壁垂直面与所述斜向导流面（34）之间形成的夹角为锐角，所述侧壁垂直面与所述砂浆出口遮挡面（36）之间形成的夹角为钝角，所述砂浆出口遮挡面（36）与所述带密封槽的底面（35）之间形成的夹角为钝角。2CN103075542A说明书1/3页多线锯切割机的砂浆分流阀技术领域[0001]本发明涉及一种将流体进行分流的装置，特别是涉及一种能够将高粘度、高密度的流体砂浆进行分流的多线锯切割机的砂浆分流阀。背景技术[0002]多线锯切割机是通过其高速运动的切割钢线沾黏上砂浆后，将半导体晶棒或晶锭切割加工成晶片的设备。它