纳米电机驱动大行程超精密工作台的设计研究.docx
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基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计摘要:纳米级空气静压工作台广泛应用于精密加工、光学仪器和半导体装备等领域。传统的工作台采用电磁悬浮技术,但其结构复杂、运动平稳性较差,同时存在磁场干扰和能耗较高的问题。基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台具有结构简单、响应速度快、运动平稳等优点。本文通过对音圈电机原理的分析和设计要求的确定,提出了一种基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计方案并进行了仿真验证。仿真结果表明,该设计方案具有较好的运动平稳性和定位精度,满
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