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1.能量色散型X射线荧光光谱 能量色散是根据特征X射线光子的能量来鉴别元素的。 激发源有:电子的和质子的 X射线的和放射性源 X射线源有用X光管和 同步辐射加速器。 2024/11/28能量色散是X光管发出的X射线,经过光学系统聚焦,以一定的掠射角、固定的光斑照射在样品上,样品受激产生的X射线荧光,经狹缝被Si(Li)探测器检测,通过前置放大器、放大线路将信号放大,再经过多道分析器色散,输入计算机获得样品的X射线荧光光谱;然后由定量分析程序计算出样品中各元素的含量。 2.波长色散型X射线荧光光谱仪 其分析原理是根据当样品中元素的原子受到高能X射线照射时,发射出具有特征的X射线谱的波长和强度来分别鉴定元素种类及测定其含量,而与激发X射线的能量无关。 按二次X射线分光方法和光路道数分为: 2024/11/28波长色散型的仪器有两类: ⅰ.为平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪 ⅱ.为聚焦型多道X射线荧光光谱仪。 1)平行束法:样品中发射出来的X射线通过狭缝成平行光束,经过平面分光晶体分离光谱。分光晶体和探测器在测角器上分别以θ和2θ的转速转动。这样每一条特征X射线的衍射角就被测出。 图6—6给出了平行束法分光系统图。 图6—6平行束法分光系统 2)聚焦法:在聚焦法中,从窄的第一狭缝出来的X射线,通过弯曲晶体分离光谱,被分离的X射线经过第二狭缝进入探测器。第一狭缝、分光晶体和第二狭缝(必须满足罗兰聚焦条件和布拉格衍射条件)安装在同一个罗兰聚焦园上。这样可获得最大强度的X射线,并且分辨率高。图6一7给出了聚焦法分光系统图。 图6—7聚焦法分光系统3)单道型:单道型X射线荧光光谱仪一般有二个探测器。分别用来测量重元素和轻元素;有4到10块分光晶体,根据被测元素选择其中一块晶体;只有一个测角器和一个计算记录器,每次只能测一个元素。因此,这种仪器适用于测量频率低、样品量少、测量元素多的情况,常用作检验分析、验收分析和研究分析。 图6—8是一个平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪的示意图。 图6—8平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪示意图4)多道型:多道型X射线荧光光谱仪基本上是相当于许多单道型的光谱仪构成的,每个通道都有自己的狭缝、晶体、探测器、计数记录器。每个通道固定测量一个指定的元素,一般在制造时,按指定的分析元素,选用最佳部件,并固定在相应分析元素的2θ角度上,不必再加调整。另外还有l~2个扫描道,用作定性扫描分析和测量固定道不能测量的其它分析元素。这样就不必改动固定道了。如果固定道的分析元素要改变,狭缝、晶体和探测器可以重新调整。这种仪器适用于测量频率高、样品量多和要求分析时间短的情况,通常用作固定分析元素的样品分析,在生产上使用较多。 图6—9是一个聚焦法多道型X射线荧光光谱的示意图。图6—9聚焦法多道型X射线荧光光谱仪示意图6.2.2波长色散型X-射线荧光光谱仪的构造 通常的波长色散型X射线荧光光谱仪是由三大部分组成: ①X射线发生器, ②分光系统 ③测量记录系统。 但每一部分都另有一些部件构成(见表6-4)。正确选择测量条件可以得到精确而可靠的分析结果。下面介绍一下仪器的一些重要部件。 1)X光管:X光管是一种应用最广泛的X射线源。X射线荧光光谱仪上使用的是封闭式的X光管,它具有如下特点: A、输出功率高,通过提高功率、减少靶到窗口距离、使用薄的铍窗来实现,通常XRF分析范围在0.7~40Kev,电压就是1~50KV; B、输出强度恒定,长期漂移保持在0.2%~0.05% C、操作温度低; D、靶材有较高的纯度,靶材的原子序数越低,以特征谱线激发为主; E、使用寿命长。封闭式的X光管有负高压工作的侧窗型和正高压工作的端窗型两种管。 (1)侧窗型X射线管。它的窗口位于管头的侧面,结构比较简单,采用负高压工作,阳极与地同电位。它只需用一般自来水或空气直接冷却阳极靶就可以了。因此使用比较方便,安全可靠且价格低。缺点是管子的窗口由于吸收反向散射电子,所以铍窗厚度较大,通常达300μm,对测定轻元素不利。 (2)端窗型X射线管。它的窗口位于管头的顶部,是应用比较广泛的一种。因为它可以有效地利用空间位置。能安装多达30个波道的光路。为了兼顾长短波长的激发效率,通常选用铑靶。由于窗口不吸收反向散射电子,铍窗厚度可薄到125μm,这就大大提高了对长波辐射的透射率,非常有利于对轻元素的激发。这种管子由于采用正高压工作,阳极必须与地隔离。直接冷却阳极靶的水路必须采用去离子水(5~10×105μs/cm)循环冷却,因此,这类管子结构比较复杂,价格亦比较贵。2024/11/282024/11/28X光管发射出来的连续谱和靶材的特征谱都可用来激发二次X射线,在这些光谱中仅波长比样品中被测元素某谱系吸收边波长短的X射线才能激发该谱系的特