搬送装置和搬送方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103177992A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103177992103177992A(43)申请公布日2013.06.26(21)申请号201210487648.7(51)Int.Cl.(22)申请日2012.11.26H01L21/677(2006.01)(30)优先权数据2011-2842132011.12.26JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人牧准之辅矢野光辉中野征二渡边刚史丰田康典榎木田卓饭田成昭原田浩树(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司11322代理人龙淳权权利要求书2页利要求书2页说明书17页说明书17页附图18页附图18页(54)发明名称搬送装置和搬送方法(57)摘要本发明提供一种搬送装置和搬送方法，在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时，能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动；和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值，基于所检测的转矩值，计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。CN103177992ACN103792ACN103177992A权利要求书1/2页1.一种搬送装置，其将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，其通过利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设于该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的所述被驱动单元在规定的方向上移动；和对所述被驱动单元的搬送状态进行监视的搬送监视单元，所述搬送监视单元检测使所述被驱动单元移动所需的所述电机的转矩值，基于所检测出的所述转矩值，计算该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算出的所述转矩微分值检测所述搬送状态。2.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于：所述驱动单元还包括对应于所述传动带的移动而旋转的从动侧传动轮，所述搬送监视单元，进一步利用将所述电机的旋转动作与所述从动侧传动轮的旋转动作进行比较的比较结果、或将所述驱动侧传动轮的旋转动作与所述从动侧传动轮的旋转动作进行比较的比较结果，检测所述搬送状态。3.如权利要求2所述的搬送装置，其特征在于：所述搬送监视单元，进一步检测作用于所述从动侧传动轮的所述传动带的张力，进一步利用所检测出的所述张力检测所述搬送状态。4.如权利要求1~3中任一项所述的搬送装置，其特征在于：所述驱动单元还包括用于对所述驱动侧传动轮、所述传动带和所述电机进行防水或防尘的、配置于与该驱动侧传动轮等相对的位置的密封侧传动带和密封侧传动轮，所述密封侧传动带对应于所述被驱动单元的移动而移动，所述密封侧传动轮对应于所述密封侧传动带的移动而旋转，所述搬送监视单元进一步利用对所述电极的旋转动作与所述密封侧传动轮的旋转动作进行比较的比较结果，检测所述搬送状态。5.如权利要求1~4中任一项所述的搬送装置，其特征在于：所述搬送监视单元进一步检测所述被驱动单元的加速度，进一步利用所检测出的所述加速度，检测所述搬送状态。6.如权利要求1~5中任一项所述的搬送装置，其特征在于：所述驱动单元将所述被驱动单元移动到规定的位置，所述搬送监视单元，检测与移动到所述规定的位置的所述被驱动单元的位置有关的信息，进一步利用所检测出的与所述位置有关的信息，检测所述搬送状态。7.如权利要求1~6中任一项所述的搬送装置，其特征在于：所述搬送监视单元，将所述搬送状态划分为以下的类别（i）至（vi）中的任意一项类别或多个类别：（i）所述传动带的滑动或断开；（ii）传递所述旋转驱动力的连接器的破损；（iii）所述被驱动单元的干扰；（iv）所述被驱动单元的碰撞；（v）将所述被驱动单元在规定的方向上进行引导的导轨的破损；（vi）支承利用所述旋转驱动力进行旋转的旋转轴且使该旋转轴能够旋转的轴承的破2CN103177992A权利要求书2/2页损。8.如权利要求1~7中任一项所述的搬送装置，其特征在于：还包括输出部和/或显示部，所述搬送监视单元，将对所述搬送状态进行检测出的结果输出到所述输出部和/或显示在所述显示部。9.一种搬送方法，其特征在于，包括：监视被搬送部件的搬送状态的搬送监视步骤；将所述被搬送部件装载于被驱动单元的被搬送部件装载步骤；和利用电机的旋转驱动力将所述被驱动单元在规定的方向上移动的被驱动单元移动步骤，所述搬送监视步骤包括：检测移动所述