防卡死的转动装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103174758A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103174758103174758A(43)申请公布日2013.06.26(21)申请号201310109275.4(22)申请日2013.03.29(71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究所地址201800上海市嘉定区800－211邮政信箱(72)发明人易葵朱美萍齐红基(74)专利代理机构上海新天专利代理有限公司31213代理人张泽纯(51)Int.Cl.F16C35/12(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称防卡死的转动装置(57)摘要一种防卡死的转动装置，其特点在于，该装置包括轴套、第一径向轴承、轴向轴承、第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈、轴套盖、第一隔圈、转动轴、螺栓、转动轴盖、键、传动齿轮和固定板，在所述的转动轴和轴套之间，自内向外依次套设第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈和第一径向轴承，然后套设第一隔圈和轴套盖，通过螺栓和键将转动轴盖和传动齿轮套设在所述的转动轴端口，所述的轴套和固定板固定在一起。本发明具有高负载能力；尤其是轴向轴承滚珠隔圈采用陶瓷或聚四氟乙烯或石墨制成，具有在高温高真空下长时间稳定运行的能力。解决了镀膜机在高真空、高温、高负载下转动装置的卡死问题。CN103174758ACN1037458ACN103174758A权利要求书1/1页1.一种防卡死的转动装置，其特征在于，该装置包括轴套（1）、第一径向轴承（2）、轴向轴承（3）、第二径向轴承（4）、第三隔圈（5）、轴向轴承滚珠隔圈（6）、第二隔圈（7）、轴套盖（8）、第一隔圈（9）、转动轴（10）、螺栓（11）、转动轴盖（12）、键（13）、传动齿轮（14）和固定板（15），在所述的转动轴（10）和轴套（1）之间，自轴内向外端口依次套设第三径向轴承（4）、第三隔圈（5）、轴向轴承（3）、轴向轴承滚珠隔圈（6）、第二隔圈（7）和第一径向轴承（2），然后套设固定第一隔圈（9）和轴套盖（8），通过螺栓（11）和键（13）将转动轴盖（12）和传动齿轮（14）套设在所述的转动轴（10）端口，所述的轴套（1）和固定板（15）固定在一起。2.根据权利要求1所述的防卡死的转动装置，其特征在于，所述的轴向轴承滚珠隔圈（6）采用陶瓷、聚四氟乙烯或石墨材料制成。2CN103174758A说明书1/2页防卡死的转动装置技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜机，特别是一种防卡死的转动装置。更特别地，本发明涉及一种具有高真空高温高负载长时间防卡死的转动装置的改进，它能够避免在高真空高温高负载工作情况下，因转动装置卡死造成生产过程的失败和相应的经济损失。背景技术[0002]在真空镀膜过程中，为保证被镀元件上沉积材料的均匀性，一般都要使被镀元件转动起来（如球面旋转、平面旋转、行星旋转等），这就需要相应的转动装置。由于这些转动装置运行在高真空、高温和高负载的条件下，以及一般润滑油在真空高温条件下会挥发从而影响成膜质量（吸收增加，甚至膜层脱落），这就使得转动机构中的轴承等元件不允许添加润滑油。在这样的情况下，轴承中的滚珠就会跟常规的钢隔圈或铜隔圈发生硬磨损，时间稍长就出现卡死现象。本发明就是针对该现象进行改进。发明内容[0003]本发明的目的是提供一种防卡死的转动装置，具有高负载能力；尤其是轴向轴承滚珠隔圈采用陶瓷或聚四氟乙烯或石墨材料制成，具有在高温高真空下能长时间稳定运行的能力。解决了镀膜机在高真空、高温、高负载下转动装置长时间运行的卡死问题。[0004]本发明的技术解决方案如下：[0005]一种防卡死的转动装置，其特点在于，该装置包括轴套、第一径向轴承、轴向轴承、第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈、轴套盖、第一隔圈、转动轴、螺栓、转动轴盖、键、传动齿轮和固定板，在所述的转动轴和轴套之间，自内向外依次套设第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈和第一径向轴承，然后套设第一隔圈和轴套盖，通过螺栓和键将转动轴盖和传动齿轮套设在所述的转动轴端口，所述的轴套和固定板固定在一起。[0006]所述的轴向轴承滚珠隔圈采用陶瓷、聚四氟乙烯或石墨材料制成。[0007]在转动上采用三轴承结构，采用二个径向轴承和一个轴向轴承，这样可以保证转动的稳定性，既不会晃动，也不会跳动。[0008]在负载上，载荷通过第三隔圈传递到第一径向轴承的内圈，然后通过第二隔圈传递到轴向轴承，通过第三隔圈传递到第二径向轴承的外圈，最后传递到轴套和固定板上。这样二个径向轴承只会承受径向跳动的力，轴向（负载方向）的力全部由轴向轴承承担，由于轴向轴承能承受大的轴向