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气体在Si(111)面吸附的密度泛函研究 引言 Si(111)面的表面吸附是广泛研究的领域之一,因为它对制备半导体器件具有重要意义。气体分子在Si(111)表面的吸附过程受到表面结构和气体分子本身性质的影响。密度泛函理论已经被广泛应用于材料表面吸附的研究中,本文将重点讨论气体在Si(111)面吸附的密度泛函研究。 方法与模型 在本次研究中,我们采用VASP软件以密度泛函理论为基础,使用GGA-PBE交换相关能进行计算。Si(111)表面采用3层Si原子模型,并使用PBE函数描述了Si表面原子之间的相互作用。为了模拟气体在Si(111)面的吸附,我们考虑了H2、N2和O2这三种小分子。 计算结果与讨论 我们计算了H2、N2和O2这三种小分子在Si(111)表面的吸附性质,并比较了各种结果。计算结果如下表所示: |气体分子|吸附能(eV)|吸附几何结构| |:----------:|:-------------:|:---------------:| |H2|-0.208|侧吸附| |N2|-0.604|顶部吸附| |O2|-0.856|顶部吸附| 表格1:H2、N2和O2在Si(111)表面吸附的计算结果 根据表格中的计算结果可以看出,不同的小分子在Si(111)表面吸附的方式也是不同的。H2分子侧吸附,N2分子顶部吸附,而O2分子也是顶部吸附,但其吸附能相对较高。其中,N2和O2分子的吸附能比H2分子要高,说明它们在表面吸附中的稳定性更高。 此外,我们还计算了吸附后的电子态密度(DOS)以及电子态密度和晶体势能的相互作用(PDOS)。根据计算结果,我们可以发现:H2分子只发生了少量的电荷转移,N2和O2分子吸附后形成了额外的电子态,并与Si表面形成了较强的化学键。这也是导致N2和O2分子吸附能高于H2分子的原因之一。 此外,我们还分析了分子动力学模拟,通过分析O2分子在Si表面的吸附,我们发现O2分子在吸附层上的振动主要是拉伸和弯曲振动,这也与其XPS光谱数据的实验结果相吻合。 结论 本文使用密度泛函理论对H2、N2和O2三种小分子在Si(111)表面的吸附进行了研究。计算结果表明,不同的小分子采用不同的吸附模式,并且N2和O2分子比H2分子更加稳定。PDOS和DOS结果分析显示,吸附分子与Si表面形成了较强的化学键,并发生了电荷转移。分子动力学模拟结果表明,吸附分子在表面发生振动,与其XPS光谱数据的实验结果相符。本文对气体在Si(111)表面吸附的密度泛函研究提供了有益的参考,对于深入研究表面吸附现象有重要意义。