一种同步移相干涉测量系统的误差研究.docx
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一种同步移相干涉测量系统的误差研究.docx
一种同步移相干涉测量系统的误差研究同步移相干涉测量系统的误差研究引言干涉仪通常被用于测试光学元件、平面等等,同步移相干涉仪作为一种常见的干涉检测方法,广泛应用于光学自动检测、精度测量等领域。但是,同步移相干涉仪在实际使用过程中存在着一些误差,如系统灵敏度低、温度漂移、机械振动等问题。这些误差会导致系统的测量精度降低,进而影响到实验结果的准确性。本文将对同步移相干涉测量系统的误差进行研究和分析,并提出相应的解决方案。同步移相干涉测量系统的误差类型1.系统灵敏度低同步移相干涉测量系统在检测过程中,需要调整光源
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