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超窄带梳状滤波器固体腔的厚度测量方法研究
超窄带梳状滤波器（NBFBG）是一种具有独特性能和广泛应用的光学器件。在其制备过程中，固体腔（SolidCavity）的形成和优化是至关重要的环节。因此，对固体腔的厚度进行定量测量和控制具有重要意义。
目前，常用的固体腔厚度测量方法主要包括两种：一种是利用光学干涉（OpticalInterference）理论测量反射率的变化，从而推算出固体腔中的折射率；另一种是采用场发射扫描电镜（FESEM）技术进行直接观测。其中，前者通常适用于厚度较大、精度要求不高的情况，后者则适用于亚纳米级至纳米级的薄膜或器件。
为了提高NBFBG的制备精度和性能，本文采用了一种基于光学干涉技术的固体腔厚度测量方法。该方法主要包括搭建光学干涉测试装置、测量反射率变化和计算折射率的步骤。
首先，我们搭建了一套基于泵浦-探测（Pump-Probe）光学干涉的测试装置。该装置主要由泵浦光源、探测器、平面镜和反射镜等组成。其中，泵浦光源主要用于激发器件，产生一定波长和强度的光线；探测器则用于接收反射回来的光信号，并将其转化为电信号输出。平面镜和反射镜则用于调节和控制光路，使光线垂直入射到样品表面上。
接下来，我们将NBFBG放置在测试装置中，利用泵浦激发器件，产生一定的光信号并照射到NBFBG上，并通过探测器接收反射回来的光信号。此时，当固体腔厚度发生微小变化时，会导致反射率发生微小变化。通过测量反射率变化的大小和模式，可以计算出固体腔中的折射率，并从而推算出固体腔的厚度。
最后，为了验证该方法的准确性和可行性，我们采用了模拟实验和实际制备的NBFBG样品进行了测试和分析。结果表明，该方法具有较高的准确性和可重复性，且适用于不同种类的NBFBG制备工艺。同时，该方法还具有测试时间短、成本低、无损伤等优点，可有效提高制备过程的生产效率和质量。
总之，基于光学干涉的固体腔厚度测量方法是一种简单、准确、具有可重复性的测试方法，具有广泛应用前景和重要意义。同时，该方法还可与其他测试、分析技术相结合，为NBFBG的制备和应用提供更加完善和可靠的支撑。