相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量研究.docx
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基于外差激光干涉法的三轴向振动绝对校准方法研究.docx
基于外差激光干涉法的三轴向振动绝对校准方法研究论文题目:基于外差激光干涉法的三轴向振动绝对校准方法研究摘要:振动传感器在许多领域都有重要应用,对其进行准确的校准是确保测量精度的关键。本论文基于外差激光干涉法,研究了一种用于三轴向振动绝对校准的方法。通过利用外差激光干涉法测量振动传感器输出信号的光程差,结合仿真模型和实际实验,分析了该方法的准确性和可行性。实验结果表明,该方法能够有效地校准三轴向振动传感器。关键词:振动传感器、校准、外差激光干涉法、光程差1.引言振动传感器广泛应用于工程控制和检测领域,如振动