三氯氢硅中痕量磷气相色谱图测定.ppt

三氯氢硅中痕量磷的气相色谱图目录三氯氢硅的采样：三氯氢硅三氯氢硅中痕量磷的气相色谱测定气相色谱仪——系统及分析步骤三氯氢硅中痕量磷的测定——气相色谱法仪器与试剂:
1.RC-01型高温氢还原-硫磷气相色谱仪。
2.氢氧化钠化学纯
3.三氯化磷优级纯
4.三氯氧磷分析纯
5.磷酸三乙脂分析纯
6.高纯三氯氢硅
7.钢瓶装空气氧气(21%);氩气(99.99%)；氢气(99.63%)
氢气的净化:钢瓶装氢气经硅胶、5A分子筛、脱水、脱磷化氢后,再经液氮温度下的5A分子筛进一步脱水、脱磷化氢
气相色谱法测定干法H2的组分工艺流程图工艺流程图分析步骤环境运行控制
1、本岗位存在的环境因素：潜在的氢气泄露引起的燃烧和爆炸。
2、本岗位需控制的环境因素：氢气的泄露、燃烧和爆炸。
3、运行控制
（1）在进入有H2的实验室时，应先通风。
（2）对于实验室的气瓶或管道，必须保证不泄露并经常检查。
（3）高压气瓶（H2，O2）必须隔开放置，严防阀门漏气。
（4）工作完毕必须关闭气瓶阀。
（5）下班时室内要保持一个气窗，以防止H2在室内的积累。
（6）配置灭火器、消防栓等应急设施。

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