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制氩系统调纯过程中循环粗氩泵故障分析与处理
引言
制氩系统是一种能够快速、可靠地制备高纯度氩气的设备。在气体制备行业中，氩气是常用的一种惰性气体，在半导体、医疗、食品、金属加工等领域有着广泛应用，制氩系统的稳定性和精度对于氩气使用效果影响非常大。在制氩系统的操作过程中，保证氩气的纯度是最为关键的要求之一。而制氩过程中的循环粗氩泵对于氩气的制备效果也有着重要影响，本文将围绕这一点，对制氩系统调纯过程中循环粗氩泵的故障分析与处理进行论述。
一、制氩系统概述
制氩系统的构成包括气缸、压缩机、冷却器、分子筛、膜组件、储气罐、泵及阀门等组件。其中，制氩系统中的氩气主要来源于置换法和分离法，置换法是利用氧气和氮气将空气中的氩气置换下来，并加入分子筛、膜组件进行净化。分离法是对空气进行分离，抽取放出的氩气，从而得到高纯度氩气。在处理氩气的过程中，首先进行的就是减压处理，将高压气体从气体罐中减压，再将气体传输到分子筛、膜组件、冷却器及泵等设备上，最后通过储气罐储存氩气。
二、循环粗氩泵的作用
循环粗氩泵是制氩系统的核心部分之一，其作用是将氩气从储气罐中抽取出来，进行压缩和冷却，把氩气送到分子筛、膜组件等设备上，从而达到净化氩气的目的。循环粗氩泵的最大特点是可以提高气体流动速度，使氩气在净化器中更充分地接触吸附材料，从而达到提高净化效率的目的。同时，循环粗氩泵工作的稳定性和可靠性会直接影响整个制氩系统的运行效能，因此需要保证循环粗氩泵的正常工作状态。
三、循环粗氩泵故障分析
循环粗氩泵发生故障时，主要表现在以下几个方面：
（1）气体压力异常：若循环粗氩泵出现故障，气体压力会出现异常，压力值会偏低或偏高，从而影响制氩系统的正常输出压力。
（2）气体流量异常：如果循环粗氩泵的气体流量出现异常，会导致氩气在净化器中接触不充分，最终使氩气的净化效率下降。
（3）循环粗氩泵启动困难：若循环粗氩泵启动困难或无法启动，说明其中某个零部件可能存在故障。
（4）循环粗氩泵噪声异常：若循环粗氩泵工作时噪声异常增大，说明其内部零部件存在故障或损坏。
四、循环粗氩泵故障处理方法
针对循环粗氩泵的故障问题，下面是一些常用的解决办法：
（1）检查电源；
（2）检查电机和滑动轴承；
（3）检查泵的外部状态，如密封性、压缩器和冷却器的工作状态等；
（4）检查内部机械运动部件的状态，如是否破损、橡胶衬套磨损情况等；
（5）对于存在明确问题的部位进行修理或更换。
五、总结
由于循环粗氩泵对于氩气制备的精度和稳定性有着重要作用，因此需要在平时的工作过程中加强维护工作，对于发现的问题及时解决，以防故障扩大化。同时，也需要加强对于制氩系统的运作过程进行分析，了解各部分之间的关系，以提高生产效率和产品品质。