一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置.pdf
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一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置.pdf
本发明公开了一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置,包括偏心轮驱动系统,柔性铰链执行系统,传感器反馈系统和外壳,所述可调狭缝装置由步进电机连接谐波减速器通过膜片联轴器驱动偏心轮轴,所述偏心轮轴安装在偏心轮支座上,所述偏心轮轴中间安装有一个驱动轴承,所述驱动轴承的内圈由锁紧螺母锁定,所述偏心轮轴承与垂直驱动轴连接,所述垂直驱动轴通过垫片上放置的钢球间接接触柔性铰链,所述柔性铰链安装在底座上面,所述柔性铰链上安装有刀口组件及LVDT位移传感器。采用本发明技术方案,保证了所述装置的精度和通光性能,并且结构可靠,
精密电动可调针孔装置.pdf
本发明公开了一种精密电动可调针孔装置,包括安装箱体、可转动设置在安装箱体内的圆盘、用于驱动圆盘转动的驱动机构、沿圆周方向开设在圆盘上的多个安装孔、设置在安装孔内的安装块及设置在安装块上的针孔板,驱动机构包括设置在安装箱体内的电机、与电机的输出轴驱动连接的蜗杆及设置在圆盘外周的齿轮盘。本发明的精密电动可调针孔装置通过具有较大减速比的蜗杆、齿轮盘机构带动圆盘转动,可实现转盘旋转的高精度定位;本发明能实现针孔X+Y+Z+Z轴旋转的四个自由度的调整,调节方便且精度高;本发明结构紧凑,装配简单,完全实现了多针孔的电
一种具有触觉反馈功能的精密按钮开关.pdf
本发明公开一种具有触觉反馈功能的精密按钮开关。所述具有触觉反馈功能的精密按钮开关是由外壳本体、底座本体、按钮本体、微动开关组及缓冲支座等组成。本发明的有益效果:开关体积小,重量轻,零件少,结构简单,按压过程进行多重动作步骤的考虑,保证按压手感舒适,符合人机工效的要求。
一种可调狭缝装置、光刻机和调节狭缝的方法.pdf
本发明涉及一种可调狭缝装置、光刻机和调节狭缝的方法,包括:控制器、多个移动杆和多个调光窗;所述多个调光窗中的每两个在第一方向上相对布置,形成一对调光窗,每一对调光窗在垂直于第一方向的第二方向上呈依次排列;所述多个移动杆中的每个对应连接一个调光窗;所述控制器连接所述多个移动杆。通过控制器控制调光窗的透过率,不需要使用电机控制过滤棒移动,可以缩小透光窗的尺寸,增加透光窗的数量,从而快速且细微的调整关键尺寸一致性。并且,还能够提升产品的收率。
一种具有反馈保护功能的电动流量调节阀.pdf
本发明公开了一种具有反馈保护功能的电动流量调节阀,涉及调节阀技术领域,包括阀体、阀盖、阀杆、手轮,所述手轮安装在阀杆的上端,所述调节阀包括阀芯、驱动机,所述阀芯安装在阀杆的一端,阀芯位于阀体中,所述阀盖安装在阀体上,阀杆一端贯穿阀盖,阀杆与阀盖螺纹连接,所述驱动机安装在阀盖上方,所述阀杆与驱动机的输出端连接,所述阀体的两个法兰内侧均安装有螺栓环,所述螺栓环用于将调节阀连接在管道或者法兰上;所述驱动机驱动阀杆旋转。阀体通过螺栓环连接外接的管道或者管道上的法兰,驱动机为电动机,驱动机在控制系统的控制下运转,驱