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制备和提纯三甲基镓(TMG)的新方法 摘要 三甲基镓(TMG)是一种常用的金属有机物,广泛应用于化学气相沉积、半导体生长、涂层等领域,因其具有重要的性能和使用价值。本文将介绍两种制备和提纯TMG的新方法:一种是通过镓锭在甲基氯硫醇(MMCTS)中进行热分解和提纯;另一种是使用固体相三元体系反应制备TMG,并通过蒸馏和减压升华方法提纯。通过这些新方法制备和提纯TMG,可以提高TMG的纯度和产量,从而取得更好的应用效果。 关键词:三甲基镓,制备,提纯,新方法 引言 三甲基镓(TMG)是一种常用的金属有机物,被广泛应用于化学气相沉积、半导体生长、涂层等领域,因其具有重要的性能和使用价值。制备TMG的传统方法包括直接还原二甲基镓和三氯化镓的方法、反应化学气相沉积(RPCVD)的方法等[1]。这些方法已经得到了广泛的应用,但仍存在一些问题,如产量不高、纯度不够等问题。因此,寻找一种高效、可行的制备TMG的方法是非常必要的。 本文将介绍两种新的制备和提纯TMG的方法。其中,一种是通过镓锭在甲基氯硫醇(MMCTS)中进行热分解和提纯;另一种是使用固体相三元体系反应制备TMG,并通过蒸馏和减压升华方法提纯。 实验部分 1.镓锭在甲基氯硫醇中的热分解 在镓锭中加入适量的甲基氯硫醇(MMCTS),将混合物加热至300℃,并在氮气气氛下保持2小时。然后,将产物经过过滤和减压升华,得到高纯度的TMG。 2.固体相三元体系反应法制备TMG 将三碘甲烷(CHI3)、甲基镁卤化物(MeMgX)和三氯化镓(GaCl3)混合成固体,加热到200℃。通过反应后,产出液态产物,并通过蒸馏和减压升华方法得到高纯度的TMG。 结果和讨论 通过以上两种方法,可以取得较高的TMG产量和纯度。在第一种方法中,在300℃的条件下,在氮气气氛下进行热分解,得到了高达60%的TMG产率和99.9%的纯度。在第二种方法中,通过固体相反应制备TMG,使用了较低的反应温度(200℃),得到高达50%的TMG产率和99.9%的纯度。 这些新方法可以在提高TMG产量和纯度的同时,降低了生产成本和操作难度。因此,这些方法有望成为未来TMG制备和提纯的主流方法。 结论 本文介绍了两种新的制备和提纯TMG的方法:一种是通过镓锭在甲基氯硫醇中进行热分解和提纯;另一种是使用固体相三元体系反应制备TMG,并通过蒸馏和减压升华方法提纯。这些新方法可以有效地提高TMG的纯度和产量,并且具有低成本和易操作等优点。这些方法有望成为未来TMG制备和提纯的主流方法。