碳化硅半导体SiC在功率器件领域的应用.docx
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碳化硅半导体SiC在功率器件领域的应用.docx
碳化硅半导体SiC在功率器件领域的应用一、引言随着现代通信、电力、交通等领域的迅速发展,对功率电子器件的需求越来越高。而硅材料所制成的功率电子器件受到了功率密度和开关速度限制,开发新材料成为了研究的热点之一。碳化硅(SiC)半导体材料由于具有极高的击穿电场强度、高电导率、高热稳定性、高辐射抗性以及低开关损耗等优良性能而备受关注。目前,SiC材料的一些器件已经在交流变频技术、电网电力调节、液压泵、机床隔离器、风机以及太阳能逆变器电源等多个领域大规模应用,受到了广泛关注。二、SiC材料特性1.高击穿电场强度S
碳化硅功率半导体器件结构.pdf
本发明提供一种碳化硅功率半导体器件结构,包括:第一导电类型衬底、第一导电类型漂移区、第二导电类型体区、第一导电类型源区、第二导电类型基区、结型场效应晶体管区、第二导电类型屏蔽区、栅极结构、绝缘层及源极金属层。本发明通过将源极接触窗口设置为至少有一条边线不超出第二导电类型体区与该边线对应的边缘,从而缩小源极接触窗口的面积,使源极金属层只在局部与第一导电类型源区接触。本发明可以有效将碳化硅功率半导体器件结构的总面积进一步缩小,增大沟道长度和结型场效应晶体管区面积与器件结构的总面积的比值,即增大了沟道密度和结型
SiC半导体材料及其器件应用.pdf
第37卷第2期2000年4,el半导体情报13SiC半导体材料及其器件应用(电子十三所静7岁电子,石家庄050051)lf一/杨银堂/(西安电子科技大学,西安710071)捅要分析了SiC材料的结构类型和基本特性,介绍了SiC单晶材料的生长技术及器件工艺技术,简要讨论了SiC器件的主要应用领域和优势.,,关键词sic单晶材料工艺高温圭±生墨壁短波长发光器件中圈分类号:TN304.2—文献标识码:A文章编号:1001—5507(2000)2-13-03本等诲叛杀TechniquesofSiCSemicduc
【良心出品】第三代半导体面-SiC(碳化硅)器件及其应用.doc
第三代半导体面-SiC(碳化硅)器件及其应用作为一种新型的半导体材料,SiC以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率/高额电子器件最重要的半导体材料.特别是在极端条件和恶劣条件下应用时,SiC器件的特性远远超过了Si器件和GaAs器件.因此,SiC器件和各类传感器已逐步成为关键器件之一,发挥着越来超重要的作用.从20世纪80年代起,特别是1989年第一种SiC衬底圆片进入市场以来,SiC器件和电路获得了快速的发展.在某些领域,如发光二极管、高频大功率和高电压器件
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