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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103693447103693447A(43)申请公布日2014.04.02(21)申请号201310745795.4(22)申请日2013.12.30(71)申请人中国科学院西安光学精密机械研究所地址710119陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号(72)发明人赛小锋韦永林曹希斌田进寿盛立志刘永安(74)专利代理机构西安智邦专利商标代理有限公司61211代理人杨引雪(51)Int.Cl.B65G54/02(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图2页附图2页(54)发明名称一种磁力传递装置(57)摘要本发明涉及一种磁力传递装置,包括传递真空管,以及设置在传递真空管内的纯铁芯滑动组件,纯铁芯滑动组件包括滚轮、滚轮轴、滚轮支架以及纯铁芯,滚轮通过滚轮轴与滚轮支架连接,纯铁芯的两端均设置有固定轴,纯铁芯两端的固定轴上均套有滚轮支架,滚轮支架与固定轴之间设置有滚珠轴承,滚珠轴承的外环与滚轮支架固定连接,滚珠轴承的内环与固定轴紧配合。滚珠轴承的设置,可保证传递杆和纯铁芯能够绕传递真空管的中心轴线做径向旋转运动。滚轮的设置,使得纯铁芯滑动组件可以沿传递真空管的中心轴线自由地做轴向移动,实现样品在不同腔室中的传递以及精准定位。CN103693447ACN1036947ACN103693447A权利要求书1/1页1.一种磁力传递装置,包括传递真空管,以及设置在传递真空管内的纯铁芯滑动组件,所述纯铁芯滑动组件包括滚轮、滚轮轴、滚轮支架以及纯铁芯,滚轮通过滚轮轴与滚轮支架连接,所述纯铁芯的两端均设置有固定轴,所述滚轮支架上沿传递真空管的轴向方向设置有轴孔,固定轴伸入至滚轮支架的轴孔内,其特征在于:所述滚轮支架的轴孔与固定轴之间设置有滚珠轴承,滚珠轴承的外环与滚轮支架的轴孔固定连接,滚珠轴承的内环与固定轴紧配合。2.根据权利要求1所述的磁力传递装置,其特征在于:所述纯铁芯沿传递真空管的中心轴线方向设置有凹槽。3.根据权利要求1或2所述的磁力传递装置,其特征在于:所述滚珠轴承为封闭式的滚珠轴承。4.根据权利要求3所述的磁力传递装置,其特征在于:所述凹槽的数量为6个。5.根据权利要求4所述的磁力传递装置,其特征在于:所述滚轮支架为四滚轮支架。6.根据权利要求5所述的磁力传递装置,其特征在于:所述滚珠轴承的外环与滚轮支架之间的固定连接方式采用销钉和销钉孔相配合的方式。2CN103693447A说明书1/2页一种磁力传递装置技术领域[0001]本发明涉及一种用于多腔室真空系统之间传递样品用的磁力传递装置。背景技术[0002]在多腔室真空系统中由于不同的工作需要样品要在不同真空腔室中进行传递或移动到不同的位置,因此需要使用一种称之为磁力传递机构的装置。最早的磁力普通的磁力传递装置由于内部结构不合理,前后移动和旋转过程中真空管中的纯铁芯和真空管内壁中完全是机械摩擦运动,对真空系统造成一定的污染,其使用寿命有限。专利ZL90226957.7所述的磁力传递装置在纯铁芯的两端进行了一些改进,其主要是在轴向运动时采用滚轮方式,但在做径向旋转运动时仍然完全是滚轮侧面与真空管内壁进行机械摩擦运动。由于真空管内部不易加工导致内表面精度不高和烘烤后变形等原因,在传递和旋转过程中存在机械摩擦引起卡顿现象,严重影响传递过程中对传递样品的对准精度。发明内容[0003]本发明的目的是:提出一种在传递杆方向和径向旋转方向均能够灵活运动几乎没有摩擦的磁力传递装置。[0004]本发明是这样实现的:[0005]一种磁力传递装置,包括传递真空管,以及设置在传递真空管内的纯铁芯滑动组件,所述纯铁芯滑动组件包括滚轮、滚轮轴、滚轮支架以及纯铁芯,滚轮通过滚轮轴与滚轮支架连接,所述纯铁芯的两端均设置有固定轴,所述滚轮支架上沿传递真空管的轴向方向设置有轴孔,固定轴伸入至滚轮支架的轴孔内,其特殊之处在于:所述滚轮支架的轴孔与固定轴之间设置有滚珠轴承,滚珠轴承的外环与滚轮支架的轴孔固定连接,滚珠轴承的内环与固定轴紧配合。[0006]上述纯铁芯沿传递真空管的中心轴线方向设置有凹槽。[0007]上述滚珠轴承为封闭式的滚珠轴承。[0008]上述凹槽的数量为6个。[0009]上述滚轮支架为四滚轮支架。[0010]上述滚珠轴承的外环与滚轮支架之间的固定连接方式采用销钉和销钉孔相配合的方式。[0011]本发明的优点是:[0012](1)本发明的磁力传递装置在传递杆进行轴向运动时采用滚轮的方式,在作旋转运动时也采用轴承方式,几乎没有机械摩擦,因此,该磁力传递装置在传递样品进行对位时操作更加灵活,对位精度大大提高,同时延长了磁力传递装置的使用寿命。[0013](2)纯铁芯沿轴线方向设置有凹