一种竖直放置式镀膜夹具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104532204A(43)申请公布日2015.04.22(21)申请号201510015529.5(22)申请日2015.01.13(71)申请人中国科学院光电技术研究所地址610209四川省成都市双流350信箱(72)发明人周子夜樊俊琪冯忠毅王宏桥陈东红(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种竖直放置式镀膜夹具(57)摘要本发明公开了一种竖直放置式镀膜夹具，该镀膜夹具主部件为一个夹具主体，夹具主体为环状壳体，其内腔用于放置待镀膜的反射镜，反射镜待镀膜面朝下放置。夹具主体上面，设置有三个120°均布的螺纹孔，三个螺纹孔与镀膜机工作台面相连接；夹具主体上面还设置有三个120°均布的挡片，以避免反射镜在镀膜过程中从镀膜夹具内脱落。夹具主体内侧面有三个120°均布的圆弧形垫块，垫块的外圆弧面与夹具主体内腔轮廓相匹配，内圆弧面与反射镜外径轮廓相匹配；在夹具主体侧面有6个顶丝呈放射状分布，用于调节垫块与反射镜的间隙以夹紧反射镜。本发明解决了镜体竖直放置式镀膜机镀制刚度较差的反射镜面形精度差的问题。CN104532204ACN104532204A权利要求书1/1页1.一种竖直放置式镀膜夹具，其特征在于：该竖直放置式镀膜夹具包括一个夹具主体(2)、三个圆弧形垫块(5)、圆弧形细槽(503)内镶嵌的若干真空橡胶棒(6)和三个挡片(4)；所述夹具主体(2)为环状壳体，其内腔用于放置待镀膜的反射镜(1)；夹具主体(2)侧面有三个120°均布的圆弧形垫块(5)；夹具主体(2)放置圆弧形垫块(5)的部分还设置有六个安装顶丝(3)的螺纹孔(203)，六个螺纹孔(203)轴线与夹具主体(2)内腔圆心相交；夹具主体(2)放置圆弧形垫块(5)的侧面中间部分还设置有圆孔(201)，夹具主体(2)未放置圆弧形垫块(5)的侧边部分开有深槽(202)，以减轻重量从而减小镀膜夹具整体的转动惯量；夹具主体(2)上面，即反射镜(1)待镀膜面的背面，设置有三个120°均布的螺纹孔(206)，三个螺纹孔(206)与镀膜机工作台面相连接；夹具主体(2)上面还设置有三个120°均布的放置挡片(4)的细槽(204)，挡片(4)通过螺纹孔(207)固定在细槽(204)内，以避免反射镜(1)在镀膜过程中从夹具主体(2)内脱落；夹具主体(2)应选择铝合金或其他反射金属材料制造。2.根据权利要求1所述的竖直放置式镀膜夹具，其特征在于：所述圆弧形垫块(5)为一个刚度较好的圆弧形结构，其外圆弧面(502)与夹具主体(2)三个内腔轮廓(205)相匹配，内圆弧面(501)与反射镜(1)的外径轮廓相匹配；圆弧形垫块(5)与反射镜(1)接触的内圆弧部分(501)还设置了圆弧形细槽(503)，用于放置真空橡胶棒(6)；圆弧形垫块(5)可用于分散侧面顶丝(3)顶紧反射镜(1)时产生的压应力，避免反射镜(1)直接承受顶丝(3)的集中应力；圆弧形垫块(5)应选择A3钢或其他刚性较好的材料制造。3.根据权利要求2所述的竖直放置式镀膜夹具，其特征在于：所述真空橡胶棒(6)的截面直径应略大于圆弧形细槽(503)的直径，将其塞入圆弧形细槽(503)后，真空橡胶棒(6)约有1/3部分露出在圆弧形细槽(503)外；真空橡胶棒(6)与反射镜(1)为软接触，圆弧形垫块(5)与反射镜(1)之间不接触；在调整6个顶丝(3)顶紧反射镜(1)的过程中，需掌握好拧紧顶丝(3)的力度，既要保证反射镜(1)在镀膜机运转过程中相对镀膜夹具零位移，还要避免因夹持力过大而使反射镜(1)变形；真空橡胶棒(6)应选择在高温、真空环境下无挥发气体的弹性材料，以保证反射镜在镀膜过程中无污染；真空橡胶棒(6)的作用为：避免反射镜(1)与圆弧形垫块(5)“硬碰硬”，减少反射镜(1)所受的局部应力；增大圆弧形垫块(5)与反射镜(1)之间的摩擦力，保证反射镜(1)的约束状态。2CN104532204A说明书1/3页一种竖直放置式镀膜夹具技术领域[0001]本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种竖直放置式镀膜夹具。背景技术[0002]光学薄膜是光学系统的重要组成部分，随着高精度光学测量仪器、高分辨率光学成像技术的发展，对光学薄膜的性能要求也越来越高。离子束溅射镀膜技术在高精度光学薄膜应用中处于领先地位，采用离子束溅射技术镀制的光学薄膜有着致密度好、反射率高和膜层稳定等优点。如图1所示，离子束溅射镀膜机与真空蒸发镀膜机之间镜体的放置方式不同，大多数真空蒸发镀膜技术中镜体为水平放置，即重力方向与镜面正交；离子束溅射镀膜机中镜体为竖直放置，即重力方向与镜面平行。此外，为了镀制出均匀性好的光学薄膜，镜体还需做定速的公转及自转运动