不同碳基体CVD SiC涂层的制备及其微观结构研究.docx
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不同碳基体CVDSiC涂层的制备及其微观结构研究不同碳基体CVDSiC涂层的制备及其微观结构研究摘要:碳基SiC涂层是一种具有优异性能的高温结构材料,具有良好的耐磨、耐腐蚀、耐高温等特点。本文通过CVD方法制备不同碳基体的SiC涂层,并对其微观结构进行了研究。实验结果表明,不同碳基体对SiC涂层的微观结构有重要影响,碳纤维基体的SiC涂层具有更细密的颗粒结构,而石墨基体的SiC涂层则具有较粗糙的表面。本文对碳基SiC涂层的制备和微观结构研究提供了一定的参考价值。关键词:碳基体;CVD法;SiC涂层;微观结
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CVD制备热解炭块体材料及其微观结构研究谢志勇,黄启忠,张明瑜,王秀飞,黄伯云前言实验头验苏哲安,尹彩流,中间相热压法等㈦[13][14][15]。oC、2h的石墨化处理,心作第八届全国新型炭材料学术研讨会论文集12各向同性炭具备高强、高模、高密、耐高温、耐腐蚀、低摩擦系数、低磨损量和高各向同性以及高的耐核辐射、优异的密封性和生物相容性等等优异的综合性能⋯。目前,各向同性炭主要有以下一些应用领域:半导体行业(包括坩埚、发热体以及外延生长等冶具),金属行业旧1(包括模具、冶具和热模压用铸模等),放电加工用电