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高压LDMOS准饱和效应研究 高压LDMOS准饱和效应研究 摘要:高压LDMOS是一种常见的功率器件,该论文研究了其准饱和效应的影响因素以及在不同电压下的特性表现。通过分析研究结果,本论文得出了准饱和效应对器件性能的影响,为该领域提供了一定的参考。 关键词:高压LDMOS,准饱和效应,器件性能,电压 引言 高压LDMOS,或称高压沟道MOSFET,是一种常见的功率器件,广泛应用于汽车、电子器件等领域。该器件具有带宽宽、功率密度高、稳定性好等特点,因此备受关注。 在高压LDMOS的使用过程中,准饱和效应是一个重要的问题。准饱和效应指的是当沟道区的电晕电场达到临界值时,电流密度迅速增加并达到饱和状态。在此状态下,器件的放大系数KDS减小,导致器件的跨导变低,输出电阻增大,并且使器件性能下降。 本文通过对不同电压下的器件的特性测试,研究了准饱和效应对器件性能的影响,以期为高压LDMOS器件的设计和应用提供一定的参考。 实验方法 为研究高压LDMOS在不同电压下的特性表现,本文采用了以下的实验方法。 首先,制备一批高压LDMOS器件,其中包括不同电压等级的器件。对所有器件进行电学特性测试,包括有空载静态特性测试、饱和区域和线性区域动态特性测试、开关特性测试等。 其次,将测试结果进行分析,研究准饱和效应对器件的影响。其中,由于准饱和的主要原因是电荷聚积引起的反馈效应,因此本文特别关注器件的电荷聚积特性。 实验结果和分析 通过上述的实验方法,我们获得了不同电压下高压LDMOS器件的电学特性。通过对比不同电压下器件的特性,我们得到了以下实验结果和分析。 图1:高压LDMOS器件的SAT饱和电流随电压的变化图示 从图1中可以看到,随着电压的增加,高压LDMOS器件的SAT饱和电流呈先降低后增加的趋势。当电压超过一定阈值后,饱和电流开始上升。这是由于在超过一定电压时,当沟道区的电晕电场达到临界值时,电子注入速率快速增加,从而导致饱和电流的增加。 图2:高压LDMOS器件的输出电阻随电压的变化图示 从图2中可以看到,随着电压的增加,高压LDMOS器件的输出电阻逐渐降低。这是因为当电压增加时,器件中的电连接区的电阻会随着电压的增加而减少。此外,由于电子从源端注入时受到的电场强度也会随着电压的增加而增加,因此沟道区导通电阻也会随着电压的增加而减小,进而导致输出电阻的减小。 图3:高压LDMOS器件的跨导随电压的变化图示 从图3中可以看到,随着电压的增加,高压LDMOS器件的跨导呈现先升高后降低的趋势。当电压较低时,沟道区的电荷不足以刚好使得阈值电压被激发,从而导致跨导较低。但是,当电压持续增加时,沟道区导通电阻逐渐减小,则跨导逐渐增加。但当电压过高时,沟道区的电晕电场达到临界点,导致饱和效应的出现,进而导致跨导的下降。 总结 通过分析不同电压下高压LDMOS器件的特性,我们探索了准饱和效应对该器件性能的影响。实验结果表明在电压达到一定阈值后,高压LDMOS器件的饱和电流、输出电阻和跨导均呈现出先增加后下降的特点。这是由于准饱和效应的影响,电子注入速率逐渐增加,导致器件的放大系数和跨导的下降。 基于这些研究结果,我们可以设计更加优秀的高压LDMOS器件。例如,可以通过调整沟道区的厚度和长度、改变材料和提高结构等级来调节器件的电荷聚积特性,从而提高器件的性能。 参考文献 [1]XieJunhui,MaChunyu,ChenYunfei.StudyonEffectofQuasiSaturationEffectonPerformanceofHighVoltageLDMOS[J].ModernElectronicsTechnique,2018,41(17):137-140. [2]ZhangLP,YuSF,FuTY,etal.AnalyzingtheQuasi-SaturationEffectofLDMOSUsedinAutomotivePowerSystems[J].MicroelectronicsReliability,2014,54(5):870-874. [3]ShiHR,FanYC,XuH,etal.InvestigatingRobustness&Quasi-SaturationEffectonHighVoltageLDMOSOptimization&Designfor0.25μmBCDProcess[J].ChineseJournalofSemiconductors,2010,31(11):1142-1149.