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铋掺杂砷化镓晶体的坩埚下降法生长研究 随着电子信息技术的不断发展和进步,人们对于材料的性能要求也越来越高。因此,人们对于新型材料的发掘和研究也愈发重视。其中,半导体材料的研究尤为关键。砷化镓作为一种广泛应用于光电子学、半导体器件及太阳能电池等领域的半导体材料,其性能表现受到了广泛关注。然而,由于其发展历程较短,因此,对于其制备技术和生长工艺等方面的研究还需要不断深入。本文就以铋掺杂砷化镓晶体的坩埚下降法生长为研究对象,对其进行深入剖析和分析。 一、关于砷化镓晶体 砷化镓(GaAs)是III-V族化合物半导体材料中的一种,由镓原子和砷原子组成。其有较高的饱和电子迁移速度、高的载流子迁移率和较小的电子有效质量等良好性能。因此,其在光电子学、半导体器件及太阳能电池等领域都有广泛应用。 二、砷化镓的生长工艺 目前,砷化镓的生长工艺主要有液相外延法(LPE)、有机金属化学气相沉积法(MOCVD)、有机金属分解气相沉积法(MOVP)、分子束外延法(MBE)等方法。其中,坩埚下降法是砷化镓生长方法之一。 三、坩埚下降法生长特点 坩埚下降法生长方法主要是通过在坩埚中加入适当比例的砷化镓熔体和砷化镓粉末,然后在高温炉内加热,使其熔融,坩埚内的熔液在坩埚内形成液面,通过调整坩埚温度,使其逐渐降低,从而在液面上生长出砷化镓单晶。其具有生长速度快、杂质浓度低、坩埚内金属杂质较少等特点。 四、铋掺杂砷化镓晶体的坩埚下降法生长研究 铋掺杂砷化镓晶体的坩埚下降法生长涉及到铋与砷化镓的相互作用。研究表明,铋可将成核的核心通过导向效应转移到晶体生长表面,从而使晶体的附加生长速度得到提高。同时,铋掺杂后砷化镓的光学和电学性能也有所改善。 在铋掺杂的坩埚下降法生长研究过程中,需要注意以下几个问题: 1、坩埚材料选择:砷化镓晶体在生长过程中易受到杂质的污染,因此坩埚的材料需要选用化学惰性较强的材料,如石英玻璃、陶瓷等。 2、坩埚加热方式:坩埚加热方式对于砷化镓晶体生长过程中的控制至关重要。常用的加热方式有线圈加热、辐射加热和石英管加热等,需要根据实际研究需要确立适当的加热方式。 3、坩埚温度控制:砷化镓晶体的生长速度受到坩埚温度的影响,因此需要对坩埚温度进行精确控制。 4、坩埚内气氛控制:在砷化镓晶体的生长过程中,坩埚内气氛的稳定性对于晶体质量有着至关重要的影响。因此可以采用种种手段进行坩埚内气氛的控制,如采用惰性气体、减少气体流速等方式。 五、结论 本文围绕铋掺杂砷化镓晶体的坩埚下降法生长进行了深入的分析和研究。通过总结已有的实验成果,对于该生长方法的优缺点进行了详细剖析,并就该生长方法的技术难点进行了探讨。本文为砷化镓晶体生长领域的研究提供了一定的参考。