一种大尺寸磨削晶圆厚度在线测量方法.pdf

一种大尺寸磨削晶圆厚度在线测量方法，属于集成电路测试领域。将直铝片平铺在真空吸盘上，电容传感器沿铝片半径分布在铝片上方，电容检测装置通过屏蔽线与铝片和电容传感器相连接，形成回路系统，以检测电容量。然后，标定出电容传感器电极板与铝片之间的距离H。大尺寸硅晶圆传输到铝片上方，利用吸盘吸附。由于晶圆(电介质)的存在，电容量发生变化，随着晶圆表面材料不断被磨削砂轮去除，电容量不断变化，通过对电容量变化的监测并且建立电容量与晶圆厚度之间的关系，实现在线实时监测磨削过程晶圆厚度。本发明操作方便简单，无污染，可实现对磨

2023-10-12

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大尺寸凸轮非圆磨削智能寻位及在线测量方法.pdf

本发明涉及一种凸轮非圆磨削智能寻位及在线测量方法。此方法利用视觉传感技术，通过计算机控制图像采集系统在每个采样周期内采集凸轮上激光线的图像，经过预处理后，计算出相应的凸轮轮廓上点的坐标。凸轮旋转一圈后，就能得到在当前安装位置下凸轮轮廓上若干点的坐标，进而得到实际凸轮轮廓曲线。采用“敏感点法”遵循“最小条件”原则进行处理，即可得到最优的凸轮加工零位以及准确的凸轮轮廓误差。本发明避免了径向位移传感器对量程的高要求，使测量装置结构简单，便于凸轮非圆磨削的智能寻位和在线检测，提高了凸轮非圆磨削的加工效率

2023-10-22

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一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具.pdf

本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具。其包括支撑结构和调节结构；支撑结构由支脚、支脚平衡板、第一托起板、底部支撑台、第二托起板、顶部支撑台构成；调节结构由调节把手、滚珠轴承、调节卡垫、调节轴、调节齿轮、从动齿轮、转台轴、转台、连接螺柱、牵引脚、支撑螺柱、支撑柱、支撑球构成。通过转动调节把手，调节齿轮带动从动齿轮旋转，从而使转台旋转；转台驱动牵引脚旋转偏移，从而带动支撑柱沿着顶部支撑台的凹槽向里或向外移动。本发明可满足对不同尺寸磨削晶圆翘曲测量时的支撑与定位，配合晶圆翘曲设备可对不同尺寸磨削晶圆翘曲进

2023-10-12

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硅晶圆磨削工艺磨削力在线测量与磨削损伤研究.docx

硅晶圆磨削工艺磨削力在线测量与磨削损伤研究硅晶圆磨削工艺磨削力在线测量与磨削损伤研究摘要：随着硅晶圆材料在集成电路、太阳能电池等领域的广泛应用，对硅晶圆磨削工艺进行精确控制和优化已成为一项重要的研究内容。本文结合目前磨削力和磨削损伤在硅晶圆磨削工艺中的重要性与困难，提出了一种基于在线测量的硅晶圆磨削力与磨削损伤研究方法。在研究过程中，我们使用牛顿磨削机和压电传感器对硅晶圆磨削力进行了测量，并通过显微镜和SEM对磨削损伤进行了观察和分析。实验结果表明，通过在线测量可以准确地获取硅晶圆磨削力的变化规律，并通过

2024-10-24

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大尺寸晶圆磨削减薄设备气浮主轴承载特性研究.pptx

汇报人：目录PARTONE设备简介设备应用领域设备发展趋势PARTTWO气浮主轴承的结构气浮主轴承的工作原理气浮主轴承的特点与优势PARTTHREE气浮主轴承的静态载特性研究气浮主轴承的动态载特性研究气浮主轴承的刚度与阻尼特性研究PARTFOUR优化设计方案优化设计参数优化设计结果分析PARTFIVE实验设备与方法实验结果与分析结果对比与讨论PARTSIX研究结论研究不足与展望THANKYOU

2024-10-05

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