精密气浮位移平台.pdf

一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是：运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置

2023-10-11

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精密气浮运动平台的建模、分析与控制综述报告.docx

精密气浮运动平台的建模、分析与控制综述报告一、引言随着先进制造技术的发展，精密加工和装配领域对运动平台的精度和稳定性要求越来越高，其中精密气浮运动平台作为一种高精度、高速度的运动装置，被广泛应用于半导体、光电、精密加工等领域。本文将结合近年来的研究进展，对精密气浮运动平台的建模、分析与控制进行综述。二、精密气浮运动平台的建模（一）气动力学模型精密气浮运动平台主要基于气浮技术实现运动控制，因此气动力学模型是关键的研究内容。对于气浮系统，通常采用的气动力学模型为二维稳态模型和三维稳态模型。其中，二维稳态模型相

2024-10-22

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基于ADAMS与AMESim精密气浮平台的减振系统仿真.docx

基于ADAMS与AMESim精密气浮平台的减振系统仿真随着现代工业技术的不断发展，机械运动的稳定性和减振效果逐渐成为了各种装备研制和生产的重点之一。其中，精密气浮平台可以为机械设备提供高度稳定的运动平台，但是由于各种因素的影响，其仍然存在着一定的振动问题。为了解决精密气浮平台的振动问题，减振系统成为了一个重要的探讨方向。在现代工业中，减振系统不仅仅能够提高设备的工作效率，还可以保证设备的运行稳定性和寿命。因此，设计一个高效的精密气浮平台减振系统，并进行仿真研究，具有重要的意义。本文将基于ADAMS与AME

2024-11-16

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高速精密气浮平台及其直线电机驱动特性研究.docx

高速精密气浮平台及其直线电机驱动特性研究高速精密气浮平台及其直线电机驱动特性研究摘要：本论文研究了高速精密气浮平台及其直线电机驱动特性。首先介绍了气浮平台的基本原理和相关技术，然后详细讨论了直线电机在气浮平台中的应用，包括驱动原理、结构设计和性能分析。接下来，利用数学模型和仿真工具对直线电机驱动的高速精密气浮平台进行了性能分析和优化设计。最后，通过实验验证了所提出的高速精密气浮平台及其直线电机驱动特性的有效性和可行性。关键词：气浮平台；直线电机；高速精密；驱动特性1.引言气浮平台作为一种常见的精密定位装置

2024-10-18

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超精密气浮定位平台动力学特性分析.docx

超精密气浮定位平台动力学特性分析超精密气浮定位平台动力学特性分析摘要：超精密气浮定位平台已经成为制造业、半导体行业等领域中重要的生产工具。为了提高其动态精度和稳定性，在超精密气浮定位平台研制过程中对动力学特性进行了分析和研究。本文基于动力学理论，系统地分析了超精密气浮定位平台的动力学特性，研究了气浮缓冲器的效应，提出了优化方案，为超精密气浮定位平台的设计和研制提供了理论支持和参考方向。关键词：超精密气浮定位平台，动力学特性，气浮缓冲器，优化方案1、引言超精密气浮定位平台被广泛应用于制造业、半导体行业等领域

2024-11-17

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