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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105353161A(43)申请公布日2016.02.24(21)申请号201510952625.2(22)申请日2015.12.18(71)申请人北京中电科电子装备有限公司地址100176北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室(72)发明人衣忠波王欣杨生荣张文斌李远航(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静安利霞(51)Int.Cl.G01P3/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种旋转测速装置(57)摘要本发明的实施例提供了一种旋转测速装置,该旋转测速装置包括:连接板;中通轴,中通轴的第一端与连接板连接,中通轴的中部设有第一中空结构;旋转编码器;轴套,轴套的中部设有第二中空结构,待测速的从动轮套设于轴套的外表面;轴承端盖,轴承端盖与轴套上远离中通轴的第一端的一端连接,且轴承端盖的中部设有第一通孔,第一中空结构的轴线、第二中空结构的轴线以及第一通孔的轴线重合;中心杆,中心杆的第一端与旋转编码器的旋转部分连接,中心杆的第二端与轴承端盖连接;端盖,端盖外罩于轴承端盖上远离轴套的一侧,且端盖与轴承端盖固定连接,端盖与从动轮抵接。本发明的实施例能准确地测出待测速的从动轮的速度,便于控制从动轮的速度。CN105353161ACN105353161A权利要求书1/1页1.一种旋转测速装置,其特征在于,包括:连接板(1),所述连接板(1)上设有一通槽(101);中通轴(2),所述中通轴(2)的第一端与所述连接板(1)连接,所述中通轴(2)的中部设有第一中空结构,且所述第一中空结构中靠近所述中通轴(2)的第一端的位置处设有第一轴承(3),所述第一轴承(3)的外圈固定在所述第一中空结构的内壁上;旋转编码器(4),所述旋转编码器(4)的固定部分穿设于所述通槽(101)且与所述中通轴(2)的第一端连接;轴套(5),所述轴套(5)的中部设有第二中空结构(501),所述第二中空结构(501)内设有第二轴承(6),所述第二轴承(6)的外圈固定在所述第二中空结构(501)的内壁上,所述中通轴(2)的第二端穿设于所述第二中空结构(501)中,且所述第二轴承(6)的内圈与所述中通轴(2)的第二端的外表面连接,待测速的从动轮(11)套设于所述轴套(5)的外表面;轴承端盖(7),所述轴承端盖(7)与所述轴套(5)上远离所述中通轴(2)的第一端的一端连接,且所述轴承端盖(7)的中部设有第一通孔,所述第一中空结构的轴线、所述第二中空结构(501)的轴线以及所述第一通孔的轴线重合;中心杆(8),所述中心杆(8)的第一端依次穿设于所述第一通孔和所述第一中空结构,所述中心杆(8)的第一端与所述旋转编码器(4)的旋转部分连接,所述中心杆(8)与所述第一轴承(3)的内圈连接,所述中心杆(8)的第二端与所述轴承端盖(7)连接;端盖(9),所述端盖(9)外罩于所述轴承端盖(7)上远离所述轴套(5)的一侧,且所述端盖(9)与所述轴承端盖(7)固定连接,所述端盖(9)与所述从动轮(11)抵接。2.如权利要求1所述的旋转测速装置,其特征在于,所述连接板(1)为U形结构。3.如权利要求1所述的旋转测速装置,其特征在于,所述通槽(101)为U形结构。4.如权利要求1所述的旋转测速装置,其特征在于,所述旋转测速装置还包括一编码器安装片(10),所述编码器安装片(10)固定在所述中通轴(2)的第一端上,所述旋转编码器(4)的固定部分穿设于所述通槽(101)且与所述编码器安装片(10)连接。5.如权利要求4所述的旋转测速装置,其特征在于,所述中通轴(2)包括:底座(201),所述底座(201)上设有第二通孔;通轴(202),所述通轴(202)固定在所述底座(201)上,所述通轴(202)的中部设有第三中空结构,所述第三中空结构与所述第二通孔相连通,且所述第三中空结构与所述第二通孔形成所述第一中空结构,其中,所述底座(201)上远离所述通轴(202)的一侧与所述连接板(1)连接,所述编码器安装片(10)固定在所述底座(201)上远离所述通轴(202)的一侧上,所述第三中空结构中靠近所述底座(201)的位置处设有第一轴承(3),所述第一轴承(3)的外圈固定在所述第三中空结构的内壁上,且所述通轴(202)穿设于所述第二中空结构(501)中,所述第二轴承(6)的内圈与所述通轴(202)的外表面连接。6.如权利要求1所述的旋转测速装置,其特征在于,所述中心杆(8)的第一端通过所述旋转编码器(4)的锁紧轴套与所述旋转编码器(4)的旋转部分连接。2CN105353161A说明书1/3页一种旋转测速装置技术领域[0001]本发明涉及半导体设备技术领域,特别涉及一种旋转